Вакуумметр Пирани PON100
Вакуумметр Пирани PON100 состоит из тонкой нагретой нити накала, натянутой в колбе датчика. Нить отдает тепло газу, когда молекулы сталкиваются с нитью и отводят тепло. Если давление газа уменьшается, количество соударений молекул уменьшится пропорционально, и нить будет терять тепло медленнее. Измерение потерь тепла является косвенным показателем давления.Электрическое сопротивление провода зависит от его температуры, поэтому сопротивление указывает на температуру нити. В датчике PON100 в нити поддерживается постоянное сопротивление R за счет управления током I через провод. Сопротивление можно регулировать с помощью мостовой схемы. Мощность, подводимая к проводу, равна I2R, и такая же мощность передается газу. Таким образом, ток, необходимый для достижения этого баланса, является косвенной мерой давления в вакууме
Датчик выдает аналоговый сигнал в виде логарифма давления во всем диапазоне измерения и имеет два уровня уставок реле давления.
Датчики линейки PON100 находят свое применение для таких технологических процессов как:
-
Контроль процессов вакуумной откачки
-
Криогенные установки. Процессы вакуумирования и проверки на герметичность.
-
Сублимационная сушка и дегазация материалов.
-
Контроль процессов откачки камер при единичном или последовательном производстве полупроводниковых пластин.
-
Измерение давления в диапазоне низкого вакуума в общепромышленных процессах, таких как вакуумные печи, установок нанесения покрытий и т.п.
Основные преимущества датчиков линейки PON100:
-
Измерение давления от атмосферного до 1х10-1 Па.
-
Наличие сменяемого сенсора. Срок службы любого датчика типа Пирани органичен временем деградации нити или планарного сенсора. В вакуумметрах конкурирующих производителей выход из строя датчика означает потребность в покупке нового вакуумметра. Датчики линейки PON100 допускают замену чувствительного элемента отдельно, что снижает стоимость эксплуатации. Это особенно важно на задачах с высоком степенью загрязнения и наличием активных веществ в техпроцессе.
-
Логарифмический выходной сигнал 0-10 В. Датчик легко интегрируется в автоматические системы управления.
|
|
Основные технические характеристики датчиков Пирани PON100
|
Диапазон измерения |
0,01 – 1×105 Пa 7.5×10-4 – 760 мм рт. ст. 1×10-3 – 1000 мбар |
|---|---|
|
Типы подключения датчика |
A: KF16 B: KF25 C: KF40 D: CF35/40 |
|
Точность измерения*1 |
1,0х10-2 – 1,0х100 Па ±30% от значения 1,0х10-0 – 1,0х104 Па ±20% от значения 1,0х104 – 1,0х105 Па ±50% от значения. |
|
Повторяемость сигнала |
1,0х10-2 – 1,0х10-1 Па ±5% от значения 1,0х10--1 – 1,0х104 Па ±2% от значения 1,0х104 – 1,0х105 Па ±5% от значения. |
|
Предельное давление |
1,5 атм. абс. |
|
Период снятия сигнала |
100 мс |
|
Температура отжига |
150°С (300°С для фланца CF) |
|
Типы выходного сигнала |
· RS485 (неизолированный) со скоростью передачи данных 9600 бит/с · Соединение с контроллером вакуумметра WGC150 · Аналоговый выход +0.0В~+10.0В, мин. импеданс 10 Ом |
|
Диапазон рабочих температур |
От 0 до 45 гр.Ц. |
|
Диапазон температур хранения |
От -40 до 75 гр.Ц. |
|
Диапазон рабочих условий влажности |
От 15 до 80 % (без выпадения конденсата) |
|
Напряжение питания и энегропротребление |
+24 В (+/-20%)/ 1,5 А постоянного тока |
|
Тип коннектора |
RJ-45 |
|
Материалы |
SS304, SS316L, Kovar 4J50, вольфрам, стекло |
|
Вес |
150 гр (стандартное исполнение с KF фланцем) |
|
Габариты, мм |
120хD30 (стандартное исполнение с KF фланцем) |
|
Класс защиты |
IP 40 в соответствии с IEC529 |
*1- после калибровки уставок нулевого напряжения и уровня атмосферного давления
Рекомендации по установке датчика: Датчик следует устанавливать перпендикулярно потоку газа. Следует избегать сильных вибрации в точках установки датчика. Вибрация может привести к выходу из строя датчика. С целью снижения влияния дегазации следует использовать чистые уплотнительные кольца из фторкаучука и минимазировать применение вакуумной смазки.