Магниторазрядные насосы

Магниторазрядные насосы относятся к категории высоковакуумных насосов и используются для безмасляной откачки. Они отличаются от других насосов тем, что в них отсутствуют подвижные части, а "износ" насоса связан только с распылением титановых катодов. Для работы магниторазрядного насоса необходимо предварительно откачать вакуумную камеру или систему до стартового давления. После запуска насос не требует дополнительной откачки. Магниторазрядные насосы позволяют достигнуть предельного остаточного давления в диапазоне от 1×10-9 до 1×10-10 Торр. Эти насосы широко применяются в различных областях, таких как исследования в области физики, химии, электроники и других.