Для форвакуумного насоса, если он эксплуатируется в нормальных условиях и работает с неагрессивными газами, может применяться минеральное масло.
- Для малогабаритных форвакуумных насосов с быстротой откачки менее 500 л/мин рекомендуются масла Moresco Neovac MR-100, Ulvoil SMR-100 и R-4. Их кинематическая вязкость составляет 50 мм2/с, а давление насыщенного пара – не более 10-2 Па.
- Для форвакуумных насосов с быстротой откачки от 500 до 10000 л/мин – масла Moresco Neovac MR-200, Ulvoil MR-200 и R-7. Вязкость масел типа MR-200 составляет 70 мм2/с, давление пара – ниже 10-3 Па.
- Для крупных насосов с быстротой откачки более 10000 л/мин предназначается масло Moresco Neovac MR-250, вязкость – 105 мм2/с, давление пара – не более 10-3 Па.
- При откачке паров воды – Moresco Neovac MR-200A и Moresco Neovac MR-250A, соответственно.
- При вакуумировании объемов с абразивными частицами – MorescoNeovacST-200.
Синтетическое вакуумное масло необходимо в работе при высоких нагрузках и температурах, а также при воздействии агрессивных сред, кислорода и смесей с хлоридами и фторидами.
- Синтетическое масло для механических насосов с быстротой откачки менее 500 л/мин с антиокислительными добавками и устойчивостью к активным газам – Moresco Neovac SA-L и Ulvoil R-2 (вязкость – 30 мм2/с, давление насыщенного пара – ниже 4.10-4 Па).
- Moresco Neovac SA-M – это рабочая жидкость с антикоррозионными свойствами. Оно предназначено для насосов средней быстроты откачки, в том числе для полупроводниковой и холодильной промышленности (вязкость – 64 мм2/с, давление пара – ниже 4.10-4 Па).
- Масло вакуумное Moresco Neovac SA-H – это синтетическое масло для крупных насосов с быстротой откачки от 10000 л/мин. Данное масло применяется в насосах с масляным уплотнением для откачки активных газов, паров кислот на процессах травления, в процессах химического осаждения из паровой фазы LPCVD, на высоких температурах и нагрузках (вязкость – 95 мм2/с, давление пара ниже 4.10-5 Па).
Масла для высоковакуумных струйных насосов должны быть подобраны особенно тщательно. В данной сфере используются силиконовые масла. Основными требованиями к ним являются низкое давление пара, высокая термическая стабильность, высокая устойчивость к атмосферному кислороду при нагревании, высокая молекулярная масса, отсутствие горючести и токсичности.
Масло для бустерных эжекторных насосов – Moresco Neovac DB-12 (вязкость – 24 мм2/с, давление насыщенного пара – не более 6.10-4 Па, температура вспышки 212 oC, молекулярная масса 335). Бустерные масляные насосы применяются на вакуумных печах и установках, требующих откачки больших потоков и максимальной производительности в диапазоне давлений рабочего вакуума до 0,1 Па. Данные насосы широко применяются в металлургии, а также в химическом производстве и на установках напыления на рулонные материалы.
Масло для диффузионных насосов общего применения – Moresco Neovac SX (вязкость – 22 мм2/с, давление насыщенного пара – не более 7.10-6 Па, температура вспышки 235 oC, молекулярная масса 394). Диффузионные насосы отличаются от бустерных эжекторных насосов возможностью откачки до более низкого предельного остаточного давления, поэтому требования к давлению паров масла для диффузионных насосов выше.
Масло с повышенной температурной стойкостью для диффузионных насосов – Moresco Neovac SY (вязкость – 26 мм2/с, давление насыщенного пара – не более 1.10-6 Па, температура вспышки 240 oC, молекулярная масса 422). Это синтетическое масло, устойчивое к окислению при высоких температурах и к загрязнениям откачиваемой среды.