ВАКТРОН – вакуумные насосы и контроль герметичности
Вакуумные насосы
и течеискатели
+7-812-989-04-49 + доб.
+7-812-989-04-49 доб. 1Отдел вакуумной техники и комплектации
+7-812-989-04-49 доб. 2Отдел контроля герметичности и вакуумметрии
Компания
  • Партнеры
  • Вакансии
  • Реквизиты
Каталог
  • Вакуумные насосы
    Вакуумные насосы
    • Бустерные двухроторные насосы
    • Вакуумные откачные посты
    • Винтовые насосы
    • Магниторазрядные насосы
    • Мембранные насосы
    • Пластинчато-роторные насосы
    • Турбомолекулярные насосы
  • Течеискатели
    Течеискатели
    • Масс-спектрометрические течеискатели
    • Портативные течеискатели
    • Контрольные течи
    • Запасные части для течеискателей
    • Аксессуары для течеискателей
  • Арматура и аксессуары
    Арматура и аксессуары
    • Вакуумные затворы
    • Вакуумные клапаны
    • Вакуумные сильфоны
  • Вакуумметры
    Вакуумметры
    • Вакуумметры INSTRUE
    • Вакуумметры ULVAC
    • Вакуумметры ВИТ
    • Квадрупольные масс-спектрометры
  • Масла для насосов
    Масла для насосов
Услуги
  • Вакуумирование и сервис вакуумных насосов
    • Прецизионное измерение давления
    • Услуга вакуумирования изделий и систем
    • Ремонт вакуумных насосов
  • Обслуживание криогенных контейнеров
    • Вакуумирование резервуаров
    • Измерение остаточного давления вакуумной изоляции
    • Восстановление вакуумной изоляции криогенных контейнеров
    • Поиск мест нарушения герметичности в криогенных контейнерах
Курсы
Контакты
     ВАКТРОН – вакуумные насосы и контроль герметичности
    Компания
    • Партнеры
    • Вакансии
    • Реквизиты
    Каталог
    • Вакуумные насосы
      Вакуумные насосы
      • Бустерные двухроторные насосы
      • Вакуумные откачные посты
      • Винтовые насосы
      • Магниторазрядные насосы
      • Мембранные насосы
      • Пластинчато-роторные насосы
      • Турбомолекулярные насосы
    • Течеискатели
      Течеискатели
      • Масс-спектрометрические течеискатели
      • Портативные течеискатели
      • Контрольные течи
      • Запасные части для течеискателей
      • Аксессуары для течеискателей
    • Арматура и аксессуары
      Арматура и аксессуары
      • Вакуумные затворы
      • Вакуумные клапаны
      • Вакуумные сильфоны
    • Вакуумметры
      Вакуумметры
      • Вакуумметры INSTRUE
      • Вакуумметры ULVAC
      • Вакуумметры ВИТ
      • Квадрупольные масс-спектрометры
    • Масла для насосов
      Масла для насосов
    Услуги
    • Вакуумирование и сервис вакуумных насосов
      • Прецизионное измерение давления
      • Услуга вакуумирования изделий и систем
      • Ремонт вакуумных насосов
    • Обслуживание криогенных контейнеров
      • Вакуумирование резервуаров
      • Измерение остаточного давления вакуумной изоляции
      • Восстановление вакуумной изоляции криогенных контейнеров
      • Поиск мест нарушения герметичности в криогенных контейнерах
    Курсы
    Контакты
       ВАКТРОН – вакуумные насосы и контроль герметичности
      Телефоны
      +7-812-989-04-49 + доб.
      +7-812-989-04-49 доб. 1Отдел вакуумной техники и комплектации
      +7-812-989-04-49 доб. 2Отдел контроля герметичности и вакуумметрии
      • Компания
        • Назад
        • Компания
        • Партнеры
        • Вакансии
        • Реквизиты
      • Каталог
        • Назад
        • Каталог
        • Вакуумные насосы
          • Назад
          • Вакуумные насосы
          • Бустерные двухроторные насосы
            • Назад
            • Бустерные двухроторные насосы
            • Бустерные насосы Рутса NB (95– 2400 м³/ч, 0,4 Па)
            • Корозионностойкие бустерные насосы Рутса NRL (70– 240 м³/ч, 5 Па)
          • Вакуумные откачные посты
            • Назад
            • Вакуумные откачные посты
            • Вакумные откачные посты KYKY
          • Винтовые насосы
          • Магниторазрядные насосы
            • Назад
            • Магниторазрядные насосы
            • Диодные магниторазрядные насосы (откачка тяжелых газов)
            • Триодные магниторазрядные насосы (откачка легких газов)
          • Мембранные насосы
            • Назад
            • Мембранные насосы
            • Коррозионностойкие, высоковакуумные и поршневые вакуумные насосы ULVAC (1,2 – 26 м³/ч, 200 Па)
            • Мембранные вакуумные насосы ULVAC (0,6 – 16 м³/ч, 3300 Па)
          • Пластинчато-роторные насосы
            • Назад
            • Пластинчато-роторные насосы
            • Насосы GLDN (3 – 24 м³/ч, 0.6 Па)
            • Насосы VDN (30-108 м³/ч, 0,6 Па)
            • Насосы VSN (150 – 750 м³/ч, 5.3 Па)
          • Турбомолекулярные насосы
            • Назад
            • Турбомолекулярные насосы
            • Компактные турбомолекулярные насосы FF с встроенным контроллером (25-300 л/с, 10-7 Па)
            • Турбомолекулярные насосы CXF с магнитным подвесом (1280-3260 л/с, 10-8 Па)
        • Течеискатели
          • Назад
          • Течеискатели
          • Масс-спектрометрические течеискатели
            • Назад
            • Масс-спектрометрические течеискатели
            • Масс-спектрометрический течеискатель A800
          • Портативные течеискатели
          • Контрольные течи
            • Назад
            • Контрольные течи
            • Течи Гелит (10-8 – 10-11 Па∙м³/с)
          • Запасные части для течеискателей
          • Аксессуары для течеискателей
        • Арматура и аксессуары
          • Назад
          • Арматура и аксессуары
          • Вакуумные затворы
          • Вакуумные клапаны
          • Вакуумные сильфоны
            • Назад
            • Вакуумные сильфоны
            • Сильфоны вакуумные гибкие ISO-100
            • Сильфоны вакуумные гибкие KF-16
            • Сильфоны вакуумные гибкие KF-25
            • Сильфоны вакуумные гибкие KF-40
        • Вакуумметры
          • Назад
          • Вакуумметры
          • Вакуумметры INSTRUE
            • Назад
            • Вакуумметры INSTRUE
            • Комбинированные вакуумметры
          • Вакуумметры ULVAC
          • Вакуумметры ВИТ
          • Квадрупольные масс-спектрометры
        • Масла для насосов
      • Услуги
        • Назад
        • Услуги
        • Вакуумирование и сервис вакуумных насосов
          • Назад
          • Вакуумирование и сервис вакуумных насосов
          • Прецизионное измерение давления
          • Услуга вакуумирования изделий и систем
          • Ремонт вакуумных насосов
        • Обслуживание криогенных контейнеров
          • Назад
          • Обслуживание криогенных контейнеров
          • Вакуумирование резервуаров
          • Измерение остаточного давления вакуумной изоляции
          • Восстановление вакуумной изоляции криогенных контейнеров
          • Поиск мест нарушения герметичности в криогенных контейнерах
      • Курсы
      • Контакты
      • +7-812-989-04-49 + доб.
        • Назад
        • Телефоны
        • +7-812-989-04-49 + доб.
        • +7-812-989-04-49 доб. 1Отдел вакуумной техники и комплектации
        • +7-812-989-04-49 доб. 2Отдел контроля герметичности и вакуумметрии
        • Заказать звонок
      • Главная
      • Продукты
      • Вакуумные насосы
      • Турбомолекулярные насосы
      • Турбомолекулярные насосы CXF с магнитным подвесом (1280-3260 л/с, 10-8 Па)
      • Турбомолекулярный насос CXF-250/2301

      Турбомолекулярный насос CXF-250/2301

      Поделиться
      • Турбомолекулярный насос CXF-250/2301
      • Турбомолекулярный насос CXF-250/2301
      • Турбомолекулярный насос CXF-250/2301
      • Турбомолекулярный насос CXF-250/2301
      • Турбомолекулярный насос CXF-250/2301
      • Турбомолекулярный насос CXF-250/2301
      • Турбомолекулярный насос CXF-250/2301
      • Турбомолекулярный насос CXF-250/2301
      • Описание
      • Характеристики
      Описание

      Турбомолекулярные насосы с технологией магнитного подвеса

      Магнитно-левитирующий подшипник KYKY состоит из магнитного подшипника, датчика и системы управления. Во время работы он может плавать в воздухе за счет магнитной силы без какой-либо механической поддержки; поэтому смазка не требуется. Подшипник на магнитной подушке KYKY представляет собой электромагнитный подшипник с 5-осевой структурой. Эта конструкция имеет динамическую реакцию и своевременную регулировку с помощью динамической активной технологии управления магнитной подвеской с замкнутым контуром, основанной на передовой теории управления, чтобы гарантировать такие значительные преимущества высокоскоростного вала, как стабильная левитация и надежная работа.

      Магнитно-левитирующий подшипник KYKY может применяться для контроля рабочего положения турбомолекулярных насосов и передачи рабочего положения обратно в блок управления, так что автоматическая компенсация баланса ротора может быть реализована с помощью алгоритма. Молекулярные насосы KYKY, оснащенные подшипником на магнитной подушке, не требуют смазки и специального обслуживания, имеют низкий уровень вибрации и могут быть установлены в любом положении.

      Технические характеристики серии насосов CXF

      Модель Ед. CXF-200/1401 CXF-200/1402 CXF-250/2301 CXF-250/2302 CXF-320/3001 CXF-320/3002
      Входной патрубок   DN200 ISO F DN200 ISO F DN250 ISO F DN250 ISO F DN320 ISO F DN320 ISO F
      DN200 ICF DN200 ICF DN250 ICF DN250 ICF —— ——
      DN200 LF DN200 LF DN250 LF DN250 LF —— ——
      Выхлопной патрубок ISO-KF KF40 KF40 KF40 KF40 KF40 KF40
      Быстрота действия л/с N2:1280 N2:1400 N2:2150 N2:2360 N2:2950 N2:3260
      Ar:1100 Ar:1300 Ar:1900 Ar:2260 Ar:2750 Ar:2900
      He:880 He:1100 He:1500 He:1980 He:2300 He:2550
      H2:560 H2:820 H2:850 H2:1250 H2:1100 H2:1730
      Степень сжатия   N2:>1E8 N2:>1E8 N2:> 1E8 N2:>1E8 N2:>1E8 N2:>1E9
      Ar:>1E8 Ar:>1E8 Ar:>1E8 Ar:>1E8 Ar:>1E8 Ar:>1E9
      He:>1E4 He:>1E4 He:>1E4 He:>1E4 He:>1E4 He:>1E4
      H2:>1E3 H2:>1E3 H2:>1E3 H2:>1E3 H2:>1E3 H2:>1E3
      Предельное остаточное давление на витоновом уплотнении Па 1,00E-07 1,00E-07 1,00E-07 1,00E-07 1,00E-07 1,00E-07
      Предельное остаточное давление на металиическом уплотнении Па 1,00E-08 1,00E-08 1,00E-08 1,00E-08 —— ——
      Максимальное форвакуумное давление при продолжительной работе Па 1100 1200 1300 1500 2100 2400
      Порт продувки (опция) KF10 KF10 KF10 KF10 KF10 KF10
      Расход защитного газа см3/мин 20 20 50 50 50 50
      Быстрота вращения об/мин 30000 33000 27000 30000 21000 24000
      Время старта мин ≤6 ≤7 ≤8 ≤9 ≤9 ≤10
      Время останова мин ≤8 ≤9 ≤11 ≤12 ≤12 ≤14
      Охлаждение   водяное водяное водяное водяное водяное водяное
      Расход охл. воды л/мин 2 2 3 3 3 3
      Питание V AC 220±10%,50Hz 220±10%,50Hz 220±10%,50Hz 220±10%,50Hz 220±10%,50Hz 220±10%,50Hz
        V AC 110±10%,60Hz 110±10%,60Hz 110±10%,60Hz 110±10%,60Hz 110±10%,60Hz 110±10%,60Hz
      Контроллер   CXF-1401 CXF-1402 CXF-2301 CXF-2302 CXF-3001 CXF-3002
      Масса кг 51 51 60 60 76 76

      Техническое описание насосов

      Турбомолекулярные насосы на магнитной левитации — это насосы, вал которых поддерживается силой магнитного поля. Серийные молекулярные насосы на магнитной подушке представляют собой оборудование для создания вакуума, разработанное KYKY для удовлетворения требований применения в областях современного производства полупроводников, производства микросхем, промышленных гальванопокрытий и научных приборов, со скоростью откачки 1400 л/с-3000 л/с, рабочим давлением 20 Па до 10-7 Па и тремя типами входных газовых соединений ISO-K, ISO-F и ISO-CF.

      Технология управления приводом двигателя

      высокоэффективный высокоскоростной двигатель постоянного тока и система сервоуправления применяются к серийным насосам на магнитной подвеске, чтобы иметь максимальную энергию двигателя и автоматически компенсировать скорость вращения вала, тем самым обеспечивая стабильный запуск, надежную работу и функцию автоматического регулирования энергии вращения.

      Технология композитного ротора из углеродного волокна

      турбороторы серийных молекулярных насосов с магнитной подвеской изготавливаются путем соединения высокопрочного алюминиевого сплава и легкого углеродного волокна. По сравнению со всеми роторами из алюминиевого сплава, турбороторы характеризуются значительным снижением веса и значительным улучшением прочности, так что достигаются цели высокой скорости вращения, высокой производительности и высокой надежности.

      Технология защиты от коррозии

      поверхности деталей в камерах серийных молекулярных насосов с магнитной подвеской обрабатываются специальным образом, так что поверхности могут противостоять коррозии, вызванной агрессивными газами в процессах производства полупроводников, в течение длительного времени. Кроме того, такие инертные газы, как N2, полностью заполняют пространство в валах насосов для защиты низковакуумных частей в насосах, так что реализуется функция стабильного отвода агрессивных газов в течение длительного времени.

      Система контроля температуры нагрева

      Серийные молекулярные насосы на магнитной левитации оснащены электрическим нагревателем и регулятором температуры, так что во время работы можно контролировать и контролировать охлаждающую воду, электрический нагрев и тепло, переносимое защитными газами, температуру в насосы могут поддерживаться на установленном значении в течение длительного времени, некоторые газообразные вещества не превращаются в твердые вещества при нормальной температуре и не оседают в насосах, и могут быть выполнены требования для специального процесса, такого как травление.

      Характеристики
      Быстрота откачки, м³/ч 7740
      Предельное давление, Па 0,00000001

      Поделиться
      Назад к списку
      • Вакуумные насосы
        • Бустерные двухроторные насосы
        • Вакуумные откачные посты
        • Винтовые насосы
        • Магниторазрядные насосы
        • Мембранные насосы
        • Пластинчато-роторные насосы
        • Турбомолекулярные насосы
          • Компактные турбомолекулярные насосы FF с встроенным контроллером (25-300 л/с, 10-7 Па)
          • Турбомолекулярные насосы CXF с магнитным подвесом (1280-3260 л/с, 10-8 Па)
      • Течеискатели
      • Арматура и аксессуары
      • Вакуумметры
      • Масла для насосов
      Наши специалисты ответят на любой интересующий вопрос по товару
      Задать вопрос
      Особое внимание мы уделяем хорошей упаковке —
      оборудование, масла и компоненты доставляются оперативно и надежно.
      Компания
      Партнеры
      Вакансии
      Реквизиты
      Каталог
      Вакуумные насосы
      Течеискатели
      Арматура и аксессуары
      Вакуумметры
      Масла для насосов
      Услуги
      Вакуумирование и сервис вакуумных насосов
      Обслуживание криогенных контейнеров
      Наши контакты

      +7-812-989-04-49 + доб.
      +7-812-989-04-49 доб. 1Отдел вакуумной техники и комплектации
      +7-812-989-04-49 доб. 2Отдел контроля герметичности и вакуумметрии
      © 2025 Разработка и поставка вакуумного оборудования и приборов контроля герметичности. Официальный представитель в Росссии следующих команий: ULVAC (Япония) - производитель вакуумных насосов, печей, течеискателей и аналитического оборудования; NOLEK AB (Швеция) - разработчик систем автоматического контроля протечек для заводов; PEDRO GIL (Испания) - производитель двухроторных подкачивающих насосов типа Roots для вакуумных печей и задач с высокой скоростью откачки; MATSUMURA MORESCO (Япония) - производитель масел для вакуумных насосов; SVC SCREWSTAR (Южная Корея) - производитель винтовых насосов для промышленного применения.
      Версия для печати