Турбомолекулярные насосы с технологией магнитного подвеса
Магнитно-левитирующий подшипник KYKY состоит из магнитного подшипника, датчика и системы управления. Во время работы он может плавать в воздухе за счет магнитной силы без какой-либо механической поддержки; поэтому смазка не требуется. Подшипник на магнитной подушке KYKY представляет собой электромагнитный подшипник с 5-осевой структурой. Эта конструкция имеет динамическую реакцию и своевременную регулировку с помощью динамической активной технологии управления магнитной подвеской с замкнутым контуром, основанной на передовой теории управления, чтобы гарантировать такие значительные преимущества высокоскоростного вала, как стабильная левитация и надежная работа.
Магнитно-левитирующий подшипник KYKY может применяться для контроля рабочего положения турбомолекулярных насосов и передачи рабочего положения обратно в блок управления, так что автоматическая компенсация баланса ротора может быть реализована с помощью алгоритма. Молекулярные насосы KYKY, оснащенные подшипником на магнитной подушке, не требуют смазки и специального обслуживания, имеют низкий уровень вибрации и могут быть установлены в любом положении.
Технические характеристики серии насосов CXF
Модель | Ед. | CXF-200/1401 | CXF-200/1402 | CXF-250/2301 | CXF-250/2302 | CXF-320/3001 | CXF-320/3002 |
Входной патрубок | DN200 ISO F | DN200 ISO F | DN250 ISO F | DN250 ISO F | DN320 ISO F | DN320 ISO F | |
DN200 ICF | DN200 ICF | DN250 ICF | DN250 ICF | —— | —— | ||
DN200 LF | DN200 LF | DN250 LF | DN250 LF | —— | —— | ||
Выхлопной патрубок | ISO-KF | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 |
Быстрота действия | л/с | N2:1280 | N2:1400 | N2:2150 | N2:2360 | N2:2950 | N2:3260 |
Ar:1100 | Ar:1300 | Ar:1900 | Ar:2260 | Ar:2750 | Ar:2900 | ||
He:880 | He:1100 | He:1500 | He:1980 | He:2300 | He:2550 | ||
H2:560 | H2:820 | H2:850 | H2:1250 | H2:1100 | H2:1730 | ||
Степень сжатия | N2:>1E8 | N2:>1E8 | N2:> 1E8 | N2:>1E8 | N2:>1E8 | N2:>1E9 | |
Ar:>1E8 | Ar:>1E8 | Ar:>1E8 | Ar:>1E8 | Ar:>1E8 | Ar:>1E9 | ||
He:>1E4 | He:>1E4 | He:>1E4 | He:>1E4 | He:>1E4 | He:>1E4 | ||
H2:>1E3 | H2:>1E3 | H2:>1E3 | H2:>1E3 | H2:>1E3 | H2:>1E3 | ||
Предельное остаточное давление на витоновом уплотнении | Па | 1,00E-07 | 1,00E-07 | 1,00E-07 | 1,00E-07 | 1,00E-07 | 1,00E-07 |
Предельное остаточное давление на металиическом уплотнении | Па | 1,00E-08 | 1,00E-08 | 1,00E-08 | 1,00E-08 | —— | —— |
Максимальное форвакуумное давление при продолжительной работе | Па | 1100 | 1200 | 1300 | 1500 | 2100 | 2400 |
Порт продувки (опция) | KF10 | KF10 | KF10 | KF10 | KF10 | KF10 | |
Расход защитного газа | см3/мин | 20 | 20 | 50 | 50 | 50 | 50 |
Быстрота вращения | об/мин | 30000 | 33000 | 27000 | 30000 | 21000 | 24000 |
Время старта | мин | ≤6 | ≤7 | ≤8 | ≤9 | ≤9 | ≤10 |
Время останова | мин | ≤8 | ≤9 | ≤11 | ≤12 | ≤12 | ≤14 |
Охлаждение | водяное | водяное | водяное | водяное | водяное | водяное | |
Расход охл. воды | л/мин | 2 | 2 | 3 | 3 | 3 | 3 |
Питание | V AC | 220±10%,50Hz | 220±10%,50Hz | 220±10%,50Hz | 220±10%,50Hz | 220±10%,50Hz | 220±10%,50Hz |
V AC | 110±10%,60Hz | 110±10%,60Hz | 110±10%,60Hz | 110±10%,60Hz | 110±10%,60Hz | 110±10%,60Hz | |
Контроллер | CXF-1401 | CXF-1402 | CXF-2301 | CXF-2302 | CXF-3001 | CXF-3002 | |
Масса | кг | 51 | 51 | 60 | 60 | 76 | 76 |
Техническое описание насосов
Турбомолекулярные насосы на магнитной левитации — это насосы, вал которых поддерживается силой магнитного поля. Серийные молекулярные насосы на магнитной подушке представляют собой оборудование для создания вакуума, разработанное KYKY для удовлетворения требований применения в областях современного производства полупроводников, производства микросхем, промышленных гальванопокрытий и научных приборов, со скоростью откачки 1400 л/с-3000 л/с, рабочим давлением 20 Па до 10-7 Па и тремя типами входных газовых соединений ISO-K, ISO-F и ISO-CF.Технология управления приводом двигателя
высокоэффективный высокоскоростной двигатель постоянного тока и система сервоуправления применяются к серийным насосам на магнитной подвеске, чтобы иметь максимальную энергию двигателя и автоматически компенсировать скорость вращения вала, тем самым обеспечивая стабильный запуск, надежную работу и функцию автоматического регулирования энергии вращения.Технология композитного ротора из углеродного волокна
турбороторы серийных молекулярных насосов с магнитной подвеской изготавливаются путем соединения высокопрочного алюминиевого сплава и легкого углеродного волокна. По сравнению со всеми роторами из алюминиевого сплава, турбороторы характеризуются значительным снижением веса и значительным улучшением прочности, так что достигаются цели высокой скорости вращения, высокой производительности и высокой надежности.Технология защиты от коррозии
поверхности деталей в камерах серийных молекулярных насосов с магнитной подвеской обрабатываются специальным образом, так что поверхности могут противостоять коррозии, вызванной агрессивными газами в процессах производства полупроводников, в течение длительного времени. Кроме того, такие инертные газы, как N2, полностью заполняют пространство в валах насосов для защиты низковакуумных частей в насосах, так что реализуется функция стабильного отвода агрессивных газов в течение длительного времени.Система контроля температуры нагрева
Серийные молекулярные насосы на магнитной левитации оснащены электрическим нагревателем и регулятором температуры, так что во время работы можно контролировать и контролировать охлаждающую воду, электрический нагрев и тепло, переносимое защитными газами, температуру в насосы могут поддерживаться на установленном значении в течение длительного времени, некоторые газообразные вещества не превращаются в твердые вещества при нормальной температуре и не оседают в насосах, и могут быть выполнены требования для специального процесса, такого как травление.
Быстрота откачки, м³/ч | 5040 |
Предельное давление, Па | 0,00000001 |