Турбомолекулярный насос CXF-200/1401

Турбомолекулярные насосы с технологией магнитного подвеса

Магнитно-левитирующий подшипник KYKY состоит из магнитного подшипника, датчика и системы управления. Во время работы он может плавать в воздухе за счет магнитной силы без какой-либо механической поддержки; поэтому смазка не требуется. Подшипник на магнитной подушке KYKY представляет собой электромагнитный подшипник с 5-осевой структурой. Эта конструкция имеет динамическую реакцию и своевременную регулировку с помощью динамической активной технологии управления магнитной подвеской с замкнутым контуром, основанной на передовой теории управления, чтобы гарантировать такие значительные преимущества высокоскоростного вала, как стабильная левитация и надежная работа.

Магнитно-левитирующий подшипник KYKY может применяться для контроля рабочего положения турбомолекулярных насосов и передачи рабочего положения обратно в блок управления, так что автоматическая компенсация баланса ротора может быть реализована с помощью алгоритма. Молекулярные насосы KYKY, оснащенные подшипником на магнитной подушке, не требуют смазки и специального обслуживания, имеют низкий уровень вибрации и могут быть установлены в любом положении.

Технические характеристики серии насосов CXF

Модель	Ед.	CXF-200/1401	CXF-200/1402	CXF-250/2301	CXF-250/2302	CXF-320/3001	CXF-320/3002
Входной патрубок		DN200 ISO F	DN200 ISO F	DN250 ISO F	DN250 ISO F	DN320 ISO F	DN320 ISO F
		DN200 ICF	DN200 ICF	DN250 ICF	DN250 ICF	——	——
		DN200 LF	DN200 LF	DN250 LF	DN250 LF	——	——
Выхлопной патрубок	ISO-KF	KF40	KF40	KF40	KF40	KF40	KF40
Быстрота действия	л/с	N2：1280	N2：1400	N2：2150	N2：2360	N2：2950	N2：3260
		Ar：1100	Ar：1300	Ar：1900	Ar：2260	Ar：2750	Ar：2900
		He：880	He：1100	He：1500	He：1980	He：2300	He：2550
		H2：560	H2：820	H2：850	H2：1250	H2：1100	H2：1730
Степень сжатия		N2：＞1E8	N2：＞1E8	N2：＞ 1E8	N2：＞1E8	N2：＞1E8	N2：＞1E9
		Ar：＞1E8	Ar：＞1E8	Ar：＞1E8	Ar：＞1E8	Ar：＞1E8	Ar：＞1E9
		He：＞1E4	He：＞1E4	He：＞1E4	He：＞1E4	He：＞1E4	He：＞1E4
		H2：＞1E3	H2：＞1E3	H2：＞1E3	H2：＞1E3	H2：＞1E3	H2：＞1E3
Предельное остаточное давление на витоновом уплотнении	Па	1,00E-07	1,00E-07	1,00E-07	1,00E-07	1,00E-07	1,00E-07
Предельное остаточное давление на металиическом уплотнении	Па	1,00E-08	1,00E-08	1,00E-08	1,00E-08	——	——
Максимальное форвакуумное давление при продолжительной работе	Па	1100	1200	1300	1500	2100	2400
Порт продувки (опция)		KF10	KF10	KF10	KF10	KF10	KF10
Расход защитного газа	см3/мин	20	20	50	50	50	50
Быстрота вращения	об/мин	30000	33000	27000	30000	21000	24000
Время старта	мин	≤6	≤7	≤8	≤9	≤9	≤10
Время останова	мин	≤8	≤9	≤11	≤12	≤12	≤14
Охлаждение		водяное	водяное	водяное	водяное	водяное	водяное
Расход охл. воды	л/мин	2	2	3	3	3	3
Питание	V AC	220±10％，50Hz	220±10％，50Hz	220±10％，50Hz	220±10％，50Hz	220±10％，50Hz	220±10％，50Hz
	V AC	110±10％，60Hz	110±10％，60Hz	110±10％，60Hz	110±10％，60Hz	110±10％，60Hz	110±10％，60Hz
Контроллер		CXF-1401	CXF-1402	CXF-2301	CXF-2302	CXF-3001	CXF-3002
Масса	кг	51	51	60	60	76	76

Техническое описание насосов

Турбомолекулярные насосы на магнитной левитации — это насосы, вал которых поддерживается силой магнитного поля. Серийные молекулярные насосы на магнитной подушке представляют собой оборудование для создания вакуума, разработанное KYKY для удовлетворения требований применения в областях современного производства полупроводников, производства микросхем, промышленных гальванопокрытий и научных приборов, со скоростью откачки 1400 л/с-3000 л/с, рабочим давлением 20 Па до 10-7 Па и тремя типами входных газовых соединений ISO-K, ISO-F и ISO-CF.

Технология управления приводом двигателя

высокоэффективный высокоскоростной двигатель постоянного тока и система сервоуправления применяются к серийным насосам на магнитной подвеске, чтобы иметь максимальную энергию двигателя и автоматически компенсировать скорость вращения вала, тем самым обеспечивая стабильный запуск, надежную работу и функцию автоматического регулирования энергии вращения.

Технология композитного ротора из углеродного волокна

турбороторы серийных молекулярных насосов с магнитной подвеской изготавливаются путем соединения высокопрочного алюминиевого сплава и легкого углеродного волокна. По сравнению со всеми роторами из алюминиевого сплава, турбороторы характеризуются значительным снижением веса и значительным улучшением прочности, так что достигаются цели высокой скорости вращения, высокой производительности и высокой надежности.

Технология защиты от коррозии

поверхности деталей в камерах серийных молекулярных насосов с магнитной подвеской обрабатываются специальным образом, так что поверхности могут противостоять коррозии, вызванной агрессивными газами в процессах производства полупроводников, в течение длительного времени. Кроме того, такие инертные газы, как N2, полностью заполняют пространство в валах насосов для защиты низковакуумных частей в насосах, так что реализуется функция стабильного отвода агрессивных газов в течение длительного времени.

Система контроля температуры нагрева

Серийные молекулярные насосы на магнитной левитации оснащены электрическим нагревателем и регулятором температуры, так что во время работы можно контролировать и контролировать охлаждающую воду, электрический нагрев и тепло, переносимое защитными газами, температуру в насосы могут поддерживаться на установленном значении в течение длительного времени, некоторые газообразные вещества не превращаются в твердые вещества при нормальной температуре и не оседают в насосах, и могут быть выполнены требования для специального процесса, такого как травление.