Магниторазрядные насосы - это оборудование для создания чистого и сверхвысокого вакуума. Магниторазрядный насос является основным насосом безмасляной установки сверхвысокого вакуума. Магниторазрядный насос работает в закрытой системе, которая не требует постоянной работы подкачивающего насоса.
Подробнее
Описание
Принцип работы: Материал анода - это стальной барабан, а материал катода - титановая пластина. Процесс разряда ионизирует газ под совместным действием магнитного поля и электрического поля, тем самым осуществляя откачку газа.
Преимущества: Эта серия насосов имеет преимущества, такие как чистота, высокий вакуум, отсутствие шума, отсутствие вибрации и удобство в эксплуатации.
Применение: Основные области применения - научные экспериментальные установки в области высокоэнергетического ускорителя частиц, установки контролируемого термоядерного синтеза, электрические вакуумные устройства, полупроводниковые материалы, электронные микроскопы и масс-спектрометры, а также другое промышленное оборудование, требующее сверхвысокого вакуума.
Триодные насосы используют обратную электрическую полярность и существенно отличающийся дизайн катода для достижения двух важных преимуществ по сравнению с диодными насосами:
(1) электрически изолированный катод позволяет ограничить начальное горение разряда при значительно более высоких давлениях, что приводит к более короткому времени запуска;
(2) дизайн распыляемого катода позволяет осуществлять спаттеринг благородных и не благородных газов. Триоды имеют наивысшую скорость для благородных газов и свободны от нестабильности аргона в случае натекания.
Недостаток: из-за дизайна распыляемого катода, триодные насосы требуют более частого обслуживания.
Преимущества: Эта серия насосов имеет преимущества, такие как чистота, высокий вакуум, отсутствие шума, отсутствие вибрации и удобство в эксплуатации.
Применение: Основные области применения - научные экспериментальные установки в области высокоэнергетического ускорителя частиц, установки контролируемого термоядерного синтеза, электрические вакуумные устройства, полупроводниковые материалы, электронные микроскопы и масс-спектрометры, а также другое промышленное оборудование, требующее сверхвысокого вакуума.
Триодные насосы используют обратную электрическую полярность и существенно отличающийся дизайн катода для достижения двух важных преимуществ по сравнению с диодными насосами:
(1) электрически изолированный катод позволяет ограничить начальное горение разряда при значительно более высоких давлениях, что приводит к более короткому времени запуска;
(2) дизайн распыляемого катода позволяет осуществлять спаттеринг благородных и не благородных газов. Триоды имеют наивысшую скорость для благородных газов и свободны от нестабильности аргона в случае натекания.
Недостаток: из-за дизайна распыляемого катода, триодные насосы требуют более частого обслуживания.
| Параметр / Характеристика | Ед.изм. | ЗL-25 | ЗL-50 | ЗL-100 | ЗL-400C |
|---|---|---|---|---|---|
| Присоединительный фланец | мм | CF35 | CF100 | CF150 | CF150 |
| Наибольшая быстрота действия по воздуху | л/c | 21 | 55 | 110 | 420 |
| Наибольшая быстрота действия по аргону | л/c | 6 | 12 | 24 | 85 |
| Стартовое давление | Па | ≤5×10-4 | ≤5×10-4 | ≤5×10-4 | ≤5×10-4 |
| Предельное остаточное давление | Па | ≤7×10-8 | ≤7×10-8 | ≤7×10-8 | ≤1×10-8 |
| Макс. температура прогрева (с магнитами) | °C | <200 | <200 | <200 | <200 |
| Макс. температура прогрева (без магнитов) | °C | <300 | <300 | <300 | <300 |
| Рабочее напряжение на аноде | кВ | -5 | -5 | -5 | -5 |
| Кол-во электродных блоков | шт | 1 | 2 | 4 | 4 |
| Габаритные размеры | мм | 222×121×161 | 290×120×299 | 350×250×307 | 500×265×600 |
| Масса | кг | 8 | 22 | 38 | 153 |
|
Наличие кожуха для обогрева (220В 5Гц) |
- | нет | нет | нет |
есть |
| Блок питания | - | в комплекте |
в комплекте |
в комплекте |
в комплекте |
Характеристики
| Быстрота откачки, м³/ч | 1500 |
| Предельное давление, Па | 0,00000001 |