Описание
Принцип работы: Материал анода - это стальной барабан, а материал катода - титановая пластина. Процесс разряда ионизирует газ под совместным действием магнитного поля и электрического поля, тем самым осуществляя откачку газа.
Преимущества: Эта серия насосов имеет преимущества, такие как чистота, высокий вакуум, отсутствие шума, отсутствие вибрации и удобство в эксплуатации.
Применение: Основные области применения - научные экспериментальные установки в области высокоэнергетического ускорителя частиц, установки контролируемого термоядерного синтеза, электрические вакуумные устройства, полупроводниковые материалы, электронные микроскопы и масс-спектрометры, а также другое промышленное оборудование, требующее сверхвысокого вакуума.
Преимущества: Эта серия насосов имеет преимущества, такие как чистота, высокий вакуум, отсутствие шума, отсутствие вибрации и удобство в эксплуатации.
Применение: Основные области применения - научные экспериментальные установки в области высокоэнергетического ускорителя частиц, установки контролируемого термоядерного синтеза, электрические вакуумные устройства, полупроводниковые материалы, электронные микроскопы и масс-спектрометры, а также другое промышленное оборудование, требующее сверхвысокого вакуума.
Параметр / Характеристика | Ед.изм. | 2L-25 | 2L-50 | 2L-100 | 2L-200C | 2L-400C |
---|---|---|---|---|---|---|
Присоединительный фланец | мм | CF35 | CF100 | CF100 | CF150 | CF150 |
Наибольшая быстрота действия по воздуху | л/c | 22 | 65 | 120 | 220 | 450 |
Наибольшая быстрота действия по аргону | л/c | 0.З | 6 | 12 | 24 | 45 |
Стартовое давление | Па | ≤5×10-4 | ≤5×10-4 | ≤5×10-4 | ≤5×10-4 | ≤5×10-4 |
Предельное остаточное давление | Па | ≤7×10-8 | ≤7×10-8 | ≤7×10-8 | ≤1×10-8 | ≤1×10-8 |
Макс. температура прогрева (с магнитами) | °C | <200 | <200 | <200 | <200 | <200 |
Макс. температура прогрева (без магнитов) | °C | <300 | <300 | <300 | <300 | <300 |
Рабочее напряжение на аноде | кВ | 7 | 7 | 7 | 7 | 5 |
Кол-во электродных блоков | шт | 1 | 2 | 4 | 4 | 4 |
Габаритные размеры | мм | 222×121×161 | 290×120×299 | 350×250×307 | 500×265×430 | 500×265×600 |
Масса | кг | 8 | 22 | 38 | 100 | 15З |
Наличие кожуха для обогрева (220В 5Гц) | - | нет | нет | нет | есть |
есть |
Блок питания | - | в комплекте |
в комплекте |
в комплекте |
в комплекте |
в комплекте |
Характеристики
Быстрота откачки, м³/ч | 500 |
Предельное давление, Па | 0,00000007 |