Для измерения давления в области высокого вакуума рекомендуется датчик абсолютного давления магнетронного типа с холодным катодом ULVAC Gatch SC1-N.
Благодаря отсутствию накаливаемого катода, датчики Gatch SC1-N просты в эксплуатации, устойчивы к напуску атмосферы и обладают длительным сроком службы.
Датчик Gatch SC1-N является инверсно-магнетронным вакуумметром. В нем анодом служит центральный металлический стержень, а катодом осесимметричная обечайка, магнитное поле создается внешним постоянным кольцевым магнитом. Возникшие вблизи катода электроны под действием высокого напряжения будут двигаться к аноду в области скрещенных электромагнитных полей. При этом повышается вероятность соударения электронов с молекулами откачиваемого газа и их ионизация.
Образовавшиеся ионы ускоряются в электрическом поле и выбивают из материала катода вторичные электроны, которые так же ионизируют газ, двигаясь к аноду по сложной циклической траектории. В результате описанного процесса возникает электрический разряд, ток которого в достаточно широком диапазоне зависит от давления.Основные преимущества датчиков линейки ULVAC Gatch SC1-N
- Возможность прямого снятия сигнала с датчика без использования специальных контроллеров или индикаторов
- Широкий диапазон рабочих давлений, т.к. не содержит накаленных деталей и не подвержен окислению
- Легкозаменяемый сенсор
- Высокая устойчивость к прорыву атмосферы
- Напряжение питания 24 В ПТ
- Выходной сигнал 0-10 В
- Возможность программирования дискретных уставок (2 уровня)
- Датчики применяются в автоматизированных технологических процессах вследствие простоты эксплуатации и нечувствительности к внешним воздействиям
Датчики ULVAC Gatch SC1-N находят свое применение для таких технологических процессов как:
- Производство фотоэлектрических элементов, полупроводников, элементов опто- и микроэлектроники
- Контроль процессов откачки шлюзовых и высоковакуумных камер при единичном или последовательном производстве полупроводниковых пластин
- Измерение давления в диапазоне высокого вакуума в общепромышленных процессах, таких как вакуумные печи, установок нанесения покрытий и т.п.
Основные технические характеристики вакуумметра ULVAC Gatch SC1-N
|
Характеристики |
ULVAC Gatch SC1-N |
|---|---|
|
Диапазон измерения |
1×10-5 – 1 Пa |
|
Стандартный сменный сенсор вакуумметра |
С-25-N (KF-25) |
|
Точность измерения*1 |
в диапазоне –50 – 100% от значения |
|
Тип выходного сигнала |
нелинейный 0-10 В |
|
Дискретные входные сигналы |
HV (ВЫСОКОЕ) ВКЛ/ВЫКЛ |
|
Дискретные выходные сигналы |
Выход с открытым коллектором (24 В макс, 50 мА макс) |
|
Индикаторы на корпусе |
POWER / ПИТАНИЕ |
|
Диапазон рабочих температур |
От 10 до 40 гр.Ц. |
|
Диапазон рабочих условий влажности |
От 15 до 80 % (без выпадения конденсата) |
|
Напряжение питания |
24 В ПТ ± 2 В, 150 mAмах |
|
Тип коннектора |
D-sub 15ти-пиновый |
|
Вес |
330 гр (без учета сенсора) |
- Комментарии