Вакуумметр Пирани WPI200

Датчики давления INSTRUE

Для задач, где необходимо использовать вакуумметр с индикацией сигнала на месте подключения, удобным решением для измерения давления в вакууме являются датчики INSTRUE. Преимуществами вакуумметров INSTRUE по сравнению с аналогами являются:
– Датчики снабжены индикатором на корпусе для удобного визуального контроля за давлением в точке установки датчика.
– Универсальный контроллер WGC150 позволяет отображать сигнал как с датчиков Пирани, так и с датчиков с холодным катодом. Не требуется дополнительная плата и кабели различных типов. Контроллер связывается с датчиками как по сигнальному кабелю, так и по беспроводному протоколу передачи данных (опциально).
– Датчики имеют возможность подключения к персональному компьютеру, отображения и архивации результатов измерений. Используется программное обеспечение GaugeReaderV3.0.
– Датчики INSTRUE позволяют производить замену измерительной головки отдельно от электронного модуля обработки и индикации сигнала. По этой причине эксплуатация и обслуживание сенсоров являются более экономичным, чем у аналогов.
– Датчики INSTRUE могут быть откалиброваны в России перед поставкой и комплектоваться сертификатом калибровки от Института метрологии. Калибровочные процедуры в России не входят в стоимость и оплачиваются отдельно. Срок выполнения калибровки составляет не более 20 рабочих дней.

Вакуумметр Пирани WPI200

Вакуумметр Пирани WPI200 состоит из тонкой нагретой нити накала, натянутой в колбе датчика. Нить отдает тепло газу, когда молекулы сталкиваются с нитью и отводят тепло. Если давление газа уменьшается, количество соударений молекул уменьшится пропорционально, и нить будет терять тепло медленнее. Измерение потерь тепла является косвенным показателем давления.

Электрическое сопротивление провода зависит от его температуры, поэтому сопротивление указывает на температуру нити. В датчике WPI-200 в нити поддерживается постоянное сопротивление R за счет управления током I через провод. Сопротивление можно регулировать с помощью мостовой схемы. Мощность, подводимая к проводу, равна I²R, и такая же мощность передается газу. Таким образом, ток, необходимый для достижения этого баланса, является косвенной мерой давления в вакууме.

Датчик давления может отображать давление вакуума с помощью 5-разрядного экрана или связываться со ПК через RS485 или беспроводную связь. Датчик также выдает аналоговый сигнал в виде логарифма давления во всем диапазоне измерения и имеет два уровня уставок реле давления.

Датчики линейки WPI200 находят свое применение для таких технологических процессов как:

·         Контроль процессов вакуумной откачки
·         Криогенные установки. Процессы вакуумирования и проверки на герметичность.
·         Сублимационная сушка и дегазация материалов.
·         Контроль процессов откачки камер при единичном или последовательном производстве полупроводниковых пластин.
·         Измерение давления в диапазоне низкого вакуума в общепромышленных процессах, таких как вакуумные печи, установок нанесения покрытий и т.п.

Основные преимущества датчиков линейки WPI200:

·         Измерение давления от атмосферного до 1х10^-1 Па.
·         Встроенный контроллер и 5-разрядный светодиодный дисплей отображения давления.
·         Наличие сменяемого сенсора. Срок службы любого датчика типа Пирани органичен временем деградации нити или планарного сенсора. В вакуумметрах конкурирующих производителей выход из строя датчика означает потребность в покупке нового вакуумметра.  Датчики линейки WPI200 допускают замену чувствительного элемента отдельно, что снижает стоимость эксплуатации. Это особенно важно на задачах с высоком степенью загрязнения и наличием активных веществ в техпроцессе.
·         Логарифмический выходной сигнал 0-10 В. Датчик легко интегрируется в автоматические системы управления.

Основные технические характеристики датчиков Пирани WPI200

	Вакуумметр WPI200
Диапазон измерения	0,1 – 1×105 Пa 7.5×10-3 – 760 мм рт. ст. 1×10-2 – 1000 мбар
Типы подключения датчика	A: KF16 B: KF25 C: KF40 D: CF35/40
Точность измерения*1	1,0х10-1 – 1,0х104 Па ±15% от значения 1,0х104 – 1,0х105 Па ±50% от значения.
Повторяемость сигнала	1,0х10-1 –1,0х103 Па ±5% 1,0х103 – 1,0х105 Па ±25%
Предельное давление	1,5 атм. абс.
Период снятия сигнала	100 мс
Температура отжига	150°С (300°С для фланца CF)
Типы выходного сигнала	·         5-значный светодиодный дисплей с выбором единиц измерения Па, Торр, мбар ·         RS485 (неизолированный) со скоростью передачи данных 9600 бит/с ·         Беспроводная связь с ПК через модуль USB Wireless WFTC-001 ·         Соединение с контроллером вакуумметра WGC150 ·         Аналоговый выход +0.0В~+10.0В, мин. импеданс 10 Ом
Дискретные выходные сигналы	Два независимых релейных выхода для управления внешними устройствами или для отправки сигнала в ПЛК.
Диапазон рабочих температур	От 0 до 45 гр.Ц.
Диапазон температур хранения	От -40 до 75 гр.Ц.
Диапазон рабочих условий влажности	От 15 до 80 % (без выпадения конденсата)
Напряжение питания и энегропротребление	+24 В (+/-20%)/ 1,5 А постоянного тока 2 Вт.
Тип коннектора	D-sub 9ти-пиновый
Материалы	SS304, SS316L, Kovar 4J50, вольфрам, стекло
Вес	300 гр (стандартное исполнение с KF фланцем)
Габариты, мм	100х50х32 (стандартное исполнение с KF фланцем)
Класс защиты	IP 40 в соответствии с IEC529

*1- после калибровки уставок нулевого напряжения и уровня атмосферного давления

Рекомендации по установке датчика: Датчик следует устанавливать перпендикулярно потоку газа. Следует избегать сильных вибрации в точках установки датчика. Вибрация может привести к выходу из строя датчика. С целью снижения влияния дегазации следует использовать чистые уплотнительные кольца из фторкаучука и минимазировать применение вакуумной смазки.