Датчики давления INSTRUE
Для задач, где необходимо использовать вакуумметр с индикацией сигнала на месте подключения, удобным решением для измерения давления в вакууме являются датчики INSTRUE. Преимуществами вакуумметров INSTRUE по сравнению с аналогами являются:– Датчики снабжены индикатором на корпусе для удобного визуального контроля за давлением в точке установки датчика.
– Универсальный контроллер WGC150 позволяет отображать сигнал как с датчиков Пирани, так и с датчиков с холодным катодом. Не требуется дополнительная плата и кабели различных типов. Контроллер связывается с датчиками как по сигнальному кабелю, так и по беспроводному протоколу передачи данных (опциально).
– Датчики имеют возможность подключения к персональному компьютеру, отображения и архивации результатов измерений. Используется программное обеспечение GaugeReaderV3.0.
– Датчики INSTRUE позволяют производить замену измерительной головки отдельно от электронного модуля обработки и индикации сигнала. По этой причине эксплуатация и обслуживание сенсоров являются более экономичным, чем у аналогов.
– Датчики INSTRUE могут быть откалиброваны в России перед поставкой и комплектоваться сертификатом калибровки от Института метрологии. Калибровочные процедуры в России не входят в стоимость и оплачиваются отдельно. Срок выполнения калибровки составляет не более 20 рабочих дней.
Широкодиапазонный вакуумметр WPC400
Вакуумметр WPC400 может отображать давление с помощью 5-разрядного экрана или обмениваться данными с ПК через интерфейс RS485 или беспроводной протокол связи, а также выводить аналоговый сигнал в виде логарифма давления во всем диапазоне измерения.
|
|
Основные преимущества датчиков линейки WPC400:
· Возможность прямой индикации сигнала на датчике. Минимальное количество сигнальных проводов
· Работа в полном диапазоне от 10-5 Па до атмосферного давления с плавным переключением датчиков
· Возможность очистки и замены сенсора оператором
· Устойчивость к повышенному давлению 1,5 бар. Аварийное выключение при прорыве атмосферы
· Напряжение питания 24 В ПТ
· Выходной сигнал 0-10 В
· Возможность программирования дискретных уставок (2 уровня)
Следует избегать длительного использования датчиков в верхнем диапазоне рабочего давления, особенно в атмосфере аргона, т.к. это приводит к распылению материала катода потоком ионов, что, в свою очередь, может стать причиной сбоев датчика.
Срок работы сенсора датчика составляет до 5000 часов при корректной эксплуатации вакуумметра, отсутствия загрязнений и резких повышений давления.
Датчики линейки WPI200 находят свое применение для таких технологических процессов как:
· Контроль процессов вакуумной откачки
· Криогенные установки. Процессы вакуумирования и проверки на герметичность.
· Сублимационная сушка и дегазация материалов.
· Контроль процессов откачки камер при единичном или последовательном производстве полупроводниковых пластин.
· Измерение давления в диапазоне низкого вакуума в общепромышленных процессах, таких как вакуумные печи, установок нанесения покрытий и т.п.
Основные преимущества датчиков линейки WPI200:
· Измерение давления от атмосферного до 1х10-1
Па.
· Встроенный контроллер и 5-разрядный светодиодный дисплей отображения давления.
· Наличие сменяемого сенсора. Срок службы любого датчика типа Пирани органичен временем деградации нити или планарного сенсора. В вакуумметрах конкурирующих производителей выход из строя датчика означает потребность в покупке нового вакуумметра. Датчики линейки WPI200 допускают замену чувствительного элемента отдельно, что снижает стоимость эксплуатации. Это особенно важно на задачах с высоком степенью загрязнения и наличием активных веществ в техпроцессе.
· Логарифмический выходной сигнал 0-10 В. Датчик легко интегрируется в автоматические системы управления.
Вакуумметры WPC400 находят свое применение для таких технологических процессов как:
· Вакуумные камеры и напылительные установки
· Производство фотоэлектрических элементов, полупроводников, элементов опто- и микроэлектроники
· Контроль процессов откачки шлюзовых и высоковакуумных камер при единичном или последовательном производстве полупроводниковых пластин
· Измерение давления в диапазоне высокого вакуума в общепромышленных процессах, таких как вакуумные печи, установок нанесения покрытий и т.п.
|
|
|
|
Вакуумметр WPC400 |
|---|---|
|
Диапазон измерения |
1×10-5 – 1×105 Пa 7.5×10-8 – 760 мм рт. ст. 1×10-7 – 1000 мбар |
|
Типы подключения датчика |
A: KF16 B: KF25 C: KF40 D: CF35/40 |
|
Точность измерения*1 |
1,0×10-5 – 1,0×10-4 Па ±20% от значения 1.0×10-4 ~1.0×104 Па ±10% от значения 1.0×104 ~1.0×105 Па ±50% от значения |
|
Повторяемость сигнала |
1,0х10-5 –1,0х103 Па ±5% |
|
Предельное давление |
1,5 атм. абс. |
|
Период снятия сигнала |
100 мс |
|
Температура отжига |
150°С (300°С для фланца CF) |
|
Типы выходного сигнала |
· 5-значный светодиодный дисплей с выбором единиц измерения Па, Торр, мбар · RS485 (неизолированный) со скоростью передачи данных 9600 бит/с · Беспроводная связь с ПК через модуль USB Wireless WFTC-001 · Соединение с контроллером вакуумметра WGC150 · Аналоговый выход +0.0В~+10.0В, мин. импеданс 10 Ом |
|
Дискретные выходные сигналы |
Два независимых релейных выхода для управления внешними устройствами или для отправки сигнала в ПЛК. |
|
Диапазон рабочих температур |
От 0 до 45 гр.Ц. |
|
Диапазон температур хранения |
От -40 до 75 гр.Ц. |
|
Диапазон рабочих условий влажности |
От 15 до 80 % (без выпадения конденсата) |
|
Напряжение питания и энегропротребление |
+24 В (+/-20%)/ 1,0 А постоянного тока |
|
Тип коннектора |
D-sub 9ти-пиновый |
|
Материалы |
SS304, SS316L, Kovar 4J50, катод вольфрам, вакуумное стекло |
|
Вес |
550 гр (стандартное исполнение с KF фланцем) |
|
Габариты, мм |
120х61х49 (стандартное исполнение с KF фланцем) |
|
Класс защиты |
IP 40 в соответствии с IEC529 |
*1- после калибровки уставок нулевого напряжения и уровня атмосферного давления
Широкодиапазонный вакуумметр с холодным катодом WPC400 позволяет пользователю производить обслуживание и очистку датчика от загрязнений, появляющихся в процессе работы. Датчик является разборным. Металлические поверхности допускают полировку для очистки от следов эксплуатации и обеспечения бесперебойной долговременной работы.