Квардупольные масс-спектрометры QGA
Функции и особенности квадрупольного масс-анализатора QGA
-
Низкая стоимость относительно других систем для анализа остаточных газов
-
Простота включения и управления - принцип "Одного нажатия"
-
Возможность высокотемпературного отжига
-
Функция дегазации электронной бомбардировкой
-
Функции защиты ионного источника и вторичного электронного умножителя
-
Возможность проведения различных испытаний на герметичность. Проверка герметичности гелием, воздухом и по нарастанию давления
-
Измерение общего давления (ионизационный вакуумметр)
Сервисное, гарантийное и пост-гарантийное обслуживание выполняется компанией ВАКТРОН как с выездом на предприятие заказчика, так и на территории поставщика в Петербурге.
Применение квадрупольного масс-анализатора QGA
- Контроль состава газовой фазы для систем полупроводникового производства, изготовление фотовольтаических панелей (солнечных батарей) и для процессов литографии
- Анализ остаточных газов в процессах вакуумного напыления и осаждения тонких плёнок
- Анализ остаточного газа в составе высоковакуумного насосного оборудования
- Анализ остаточного газа в сублимационной системе сушки
- Анализ различных газов для проведения научных исследований и разработок
Базовые технические характеристики квадрупольного масс-анализатора QGA
|
Наименование модели |
QGA 100F |
QGA 200F |
QGA 300F |
QGA 100M |
QGA 200M |
QGA 300M |
|---|---|---|---|---|---|---|
|
Вид масс-анализатора |
Квадрупольный масс-анализатор |
|||||
|
Тип детектора |
Коллектор Фарадея |
Коллектор Фарадея |
Коллектор Фарадея |
Электрометрический |
Электрометрический |
Электрометрический |
|
Диапазон анализируемых масс |
1–100 а.е.м. |
1–200 а.е.м. |
1–300 а.е.м. |
1–100 а.е.м. |
1–200 а.е.м. |
1–300 а.е.м. |
|
Максимальное рабочее давление |
5×10-2 Па |
5×10-2 Па |
5×10-2 Па |
5×10-3 Па |
5×10-3 Па |
5×10-3 Па |
|
Минимальное детектируемое парциальное давление |
5×10-9 Па |
5×10-9 Па |
5×10-9 Па |
5×10-12 Па |
5×10-12 Па |
5×10-12 Па |
|
Масса |
3.5 кг |
3.5 кг |
3.5 кг |
4.2 кг |
4.2 кг |
4.2 кг |
|
Максимальная температура отжига |
250 оС |
250 оС |
250 оС |
150 оС |
150 оС |
150 оС |
|
Порт подключения |
CF35/40 |
CF35/40 |
CF35/40 |
CF35/40 |
CF35/40 |
CF35/40 |
|
Интерфейс |
RS-485 ModBus RTU |
RS-485 ModBus RTU |
RS-485 ModBus RTU |
RS-485 ModBus RTU |
RS-485 ModBus RTU |
RS-485 ModBus RTU |
|
Программное обеспечение |
ПО от производителя VACUURAY 3.0 в комплекте поставки |
|||||
Поставляемые анализаторы отдельно или в составе стенда проходят проверку работоспособности и основных характеристик в Петербурге, на производственной базе ООО «ВАКТРОН».
Качество и технические характеристики поставляемого оборудования соответствуют техническим условиям завода-изготовителя, а также параметрам, указанным в технической спецификации.
В комплект обязательной технической документации, поставляемой с товаром, входят:
- Инструкция по эксплуатации на русском языке, где указаны: технические характеристики оборудования, рекомендации по правильной эксплуатации и устранению неисправностей, наименование и адрес завода изготовителя и сервисного центра на территории России;
- Технический паспорт на каждое изделие с серийным номером;
- Гарантийный талон на каждое изделие с серийным номером;
Пуско-наладка, ввод в эксплуатацию и обучение (инструктаж) персонала проводятся сотрудниками компании «Вактрон», аттестованными в области неразрушающего контроля по методу ПВТ (течеискание).
| № | Анализатор остаточных газов (RGA) | Модель | Заказной номер |
|---|---|---|---|
| 1 | RGA QGA100F, 1-100amu, чаша Фарадея | QGA100F | 700-001 |
| 2 | RGA QGA200F, 1-200amu, чаша Фарадея | QGA200F | 700-002 |
| 3 | RGA QGA300F, 1-300amu, чаша Фарадея | QGA300F | 700-003 |
| 4 | RGA QGA100M, 1-100amu, Электронный умножитель | QGA100M | 700-004 |
| 5 | RGA QGA200M, 1-200amu, Электронный умножитель | QGA200M | 700-005 |
| 6 | RGA QGA300M, 1-300amu, Электронный умножитель | QGA300M | 700-006 |