На производстве кремниевых пластин и фотоэлектрических преобразователей гелиевый течеискатель необходим на этапах пуско-наладочных работ и при дальнейшем проведении работ по техническому обслуживанию или ремонту установок выращивания монокристаллических кремниевых слитков по методу Чохральского, систем плазмохимического осаждения слоев кремния из газовой фазы (PECVD), систем магнетронного осаждения слоев прозрачного проводящего оксида (PVD), систем газоснабжения и систем утилизации отработавших газов.
Фото
Комплект оборудования для контроля герметичности для производства кремниевых пластин ВАКТРОН РК-СИ
Для решения задачи контроля герметичности изделий предлагаем вам Комплект оборудования для контроля герметичности для производства кремниевых пластин РК на базе течеискателя масс-спектрометрического ZQJ-3200. Прибор выполнен с интерфейсом на русском языке, является наиболее новой моделью производителя и выполнен с учетом самых современных тенденцией оборудования контроля герметичности:
-
– Течеискатель масс-спектрометрический ZQJ-3200G-Vactron – проходит испытания на внесение в Госреестр СИ РФ.
-
– турбомолекулярный насос Pfeiffer Vacuum SplitFlow, специально изготовленный для течеискателей, позволяющий снизить требования к вакууму в объекте контроля. Начинать испытания можно от 2500 Па и ниже, что является наилучшим значением;
-
– защита анализатора от попадания загрязнений путем сепарации гелия против направления откачки ТМН;
-
– форвакуумный насос ULVAC с магнитной муфтой;
-
– наличие датчика высокого вакуума в анализаторе и датчика Пирани на входе течеискателя;
-
– динамическая компенсация фонового сигнала, что позволяет работать даже при высоком фоне гелия в объекте;
-
– надежный корпус, позволяющий проводить работы как в лаборатории, так и на открытых пространствах, а также удобно осуществлять сервисное обслуживание.
Гелиевый масс-спектрометрический течеискатель предназначен для испытаний на герметичность различных вакуумных систем и систем, находящихся под избыточным давлением, с применением гелия в качестве пробного газа. На производстве кремниевых пластин и фотоэлектрических преобразователей гелиевый течеискатель необходим на этапах пуско-наладочных работ и при дальнейшем проведении работ по техническому обслуживанию или ремонту установок выращивания монокристаллических кремниевых слитков по методу Чохральского, систем плазмохимического осаждения слоев кремния из газовой фазы (PECVD), систем магнетронного осаждения слоев прозрачного проводящего оксида (PVD), систем газоснабжения и систем утилизации отработавших газов.
|
|
Исполнение прибора ZQJ-3200G-Vactron |
Исполнение и габариты течеискателя ZQJ-3200G-Vactron |
Таблица основных технических и эксплуатационных характеристик течеискателя ZQJ-3200G-Vactron с насосом ISP-250
№ |
Характеристика |
Значение |
---|---|---|
1 |
Минимальный достоверной регистрируемый поток гелия в вакуумном режиме, не более |
5∙10-13 Па∙м3/с |
2 |
Минимальный индицируемый поток гелия в режиме щупа, не более |
5∙10-10 Па∙м3/с |
3 |
Максимальное давление начала испытаний в вакуумном режиме не менее |
2500 Па |
4 |
Время отклика в вакуумном режиме до достижения 63% сигнала течи |
менее 2 с |
5 |
Время готовности к работе, не более |
3 мин |
6 |
Быстрота откачки форвакуумного насоса, не менее |
15 м3/ч Модель ISP-250 |
7 |
Габариты течеискателя, не более |
733×528×935 мм |
8 |
Масса течеискателя, не более |
109 кг |
9 |
Возможность работы с контрольными газами |
H2, He-3, He-4 |
10 |
Диапазон рабочих температур, относительная влажность |
+5 – +40 °С, <80% |
11 |
Встроенный датчик давления Пирани |
в наличии |
12 |
Электропитание |
1 Ф, 220 В ± 10%; 50 Гц |
13 |
Сепарация гелия от смеси газов против направления откачки ТМН |
в наличии |
14 |
Наличие интерфейсов связи, управления и передачи информации |
Интерфейс RS-232 D-Sub 9-пиновый Интерфейс ввода/вывода - I/O D-Sub 37-пиновый |
15 |
Функция защиты от отравления анализатора гелием |
в наличии |
16 |
Автоматическая архивация результатов измерений и функция мониторинга потока гелия в реальном времени |
в наличии |
17 |
Функция прочистки внутренней системы течеискателя от избыточного фона гелия |
в наличии |
18 |
Основной интерфейс управления |
Экран с тач-скрин |
19 |
Наличие декларации соответствия течеискателя техническому регламенту Таможенного Союза ЭМС и НВО, зарегистрированной на компанию Поставщика |
Да |
20 |
Ионизационный датчик давления ячейки анализатора |
в наличии |
21 |
Допускаемый к пуско-наладочным работам персонал |
Аттестованный специалист неразрушающего контроля по методу ПВТ (течеискание) |
Рекомендуемая комплектация оборудования:
№ |
Товары (работы, услуги) |
Описание |
Кол-во |
Ед. |
Вид |
1 |
Комплект оборудования для контроля герметичности для производства кремниевых пластин ВАКТРОН РК-СИ |
1 |
Компл |
- |
|
1.1 |
Безмасляный высокопроизводительный течеискатель масс-спектрометрический ZQJ—3200G |
Со спиральным насосом 15 м3/час на транспортировочной тележке |
1 |
шт |
|
1.2 |
Комплект для обдува гелием |
Устройство для реализации способа обдува гелием. |
1 |
шт |
|
1.3 |
Тележка транспортировочная для течеискателя |
Позволяет безопасно передвигать и хранить прибор на производстве. |
1 |
шт |
- |
1.4 |
Течь гелиевая Гелит-1 |
Эталонная течь потоком 7.10-10 – 2.10-8 Па.м3/с с поверкой на 1 год. Погрешность воспроизведения потока 15%. Требуется переходник П-КФ25 для подключения к установкам. |
1 |
шт |
|
1.5 |
Течь гелиевая Гелит-2 |
Эталонная течь потоком 3.10-11 – 7.10-10 Па.м3/с с поверкой на 1 год. Погрешность воспроизведения потока 15%. |
1 |
шт |
|
1.6 |
Калиброванная течь БГ.63.002.00.000-3 (на вакуум, с манометром)
|
Диапазон потока контрольного газа, м3×Па/с от 6,67×10–8 до 1,33×10–5 Манометр позволяет оценивать поток течи по калибровочной кривой. |
1 |
шт |
|
1.7 |
Переходник KF-25 для гелиевых течей |
Герметичный переходник с двойным витоновым уплотнением для течей Гелит. |
1 |
шт |
|
1.8 |
Кабель питания 220 В 6 м |
– |
1 |
шт |
|
1.9 |
Комплект вакуумной арматуры |
Ручной клапан KF25, сильфон вакуумный KF25 3 м, переходник KF25-KF16, переходник KF25-KF40, Хомуты с центрирующим кольцом и витоновым уплотнением KF25 4 шт., KF16 1 шт., KF40 1 шт. |
1 |
комп. |
|
1.10 |
Набор фильтров вакуумных ВАКТРОН ФВ |
KF25 1 шт., KF16 1 шт., KF40 1 шт. Для защиты течеискателя и вакуумных насосов от загрязнений при работе с крупными объектами и изделиями рекомендуется применение защитного фильтра. Фильтр задерживает перемещение загрязняющих частиц при откачке и предотвращает их попадание в измерительное оборудование и в вакуумное масло. |
1 |
комп. |
|
|
|
Вакуумная схема и меню течеискателя ZQJ-3200G-Vactron |
Панель управления прибора с графиком потока (установлена защитная пленка) |
Часто-задаваемые вопросы и технические требования
1. Течеискатель является мобильным, т.е. установлен на тележке и может перемещаться к месту работ одним человеком.
2. Наличие дистанционного пульта для управления режимами и мониторинга показаний с построением временного графика.
3. Длинный кабель питания 220 В – 6 м.
4. Наличие ручного крана на входе и сильфонных вакуумных шлангов длиной не менее 2 м для подключения с переходниками под разные диаметры (KF16, с, KF40) + хомуты и уплотнения к ним.
5. Чувствительность до 1е-12 мбар*л/с с автоматическим выбором диапазона при изменении входного давления.
6. Течеискатель имеет 2 типа насосов – форвакуумный и высоковакуумный турбомолекулярный.
7. Возможность откачки небольших по объему испытуемых изделий (например, испытательной вакуумной камеры) собственным форвакуумным насосом.
8. Наличие способности дросселирования на входе для работы при больших давлениях, вплоть до атмосферного. Необходимо для поиска больших течей или когда насосы производственных установок отключаются по перегрузке из-за течей.
9. Наличие комплекта для обдува гелием: Редуктор для баллона с гелием (стандартный 40-литровый баллон на 150 Атм.), шланг 10-20 м, продувочный пистолет с дросселем для настройки потока и гибкой трубкой – щупом.
10. Большим плюсом является минимальное обслуживание с большими интервалами, чтобы не нужно было разбираться с обслуживанием насоса и заменой в нем масла и заказами расходников.
11. Наличие калиброванной течи на разные диапазоны измерения, которая может закрыть массу вопросов в спорных ситуациях, когда необходимо убедиться в «достоверности показаний» течеискателя.
Оборудование оснащено:
- пистолет для обдува с быстросъемным соединением;
- щуп-пробозаборник с быстросъемным соединением;
- регулятор давления с манометром и быстросъемным соединением на выходе;
- переходник для подключения регулятора давления к баллону с гелием;
- сильфон вакуумный NW25 длиной не менее 3 метров;
- адаптерами, хомутами и уплотнительными кольцами под присоединительные фланцы KF40, KF25, KF16;
- соответствующие два центрирующих кольца с уплотнительными кольцами и хомутами быстроразъемными;
- дистанционным индикатором фактических показателей;
- транспортировочной тележкой или иметь собственные колеса для перемещения.
Требования к документации
· Сертификат соответствия ТР ЕАЭС;
· Паспорт изделия;
· Габаритный чертеж;
· Основные технические характеристики;
· Инструкция по обслуживанию с подробным описанием всех процедур обслуживания;
· Перечень расходных материалов.
Требования к безопасности
Устройство имеет контур заземления.
Требования по технической поддержке
Оказание технической поддержки в случае необходимости ремонта – не менее 1 года.
УСЛОВИЯ ПРИЕМА УСТРОЙСТВА
· Соответствие конструкции оборудования с технической документацией;
· Работоспособность устройства;
· Перечень расходных материалов и ЗИП.
УСЛОВИЯ ТРАНСПОРТИРОВКИ И ХРАНЕНИЯ
· Упаковка должна обеспечить защиту от агрессивных сред, влаги, пыли и прочее.
В течеискателе установлен источник ионов с двумя иридиевыми катодами. Катоды данного типа более устойчивы к перегоранию при резком повышении давления в подключенном объекте контроля, по сравнению с вольфрамовыми. Средний срок службы катодов данного типа при штатной эксплуатации составляет 5-7 лет. Конструкция вакуумной системы течеискателя не допускает прямого прохода газов через анализатор, что предотвращает попадание загрязнений в анализатор и в верхние ступени турбомолекулярного насоса прибора. По этой причине анализатор остается чистым, катоды служат дольше, а фоновый уровень гелия в приборе низкий и стабильный. Интерфейсы связи в течеискателе позволяют производить интеграцию прибора в автоматические линии проверки герметичности и собирать статистику результатов контроля.
|
|
|
Внешний вид прибора ZQJ-3200G-Vactron на тележке |
Отображение потока на течеискателе (установлена защитная пленка) |
Меню на русском языке на течеискателе (установлена защитная пленка) |
Поток течи может быть индицирован как в виде текущего значения, так и в виде графика временной зависимости. Для блокировки доступа к меню «Настройки» можно использовать пароль, оставляя доступ к определенным функциям с помощью функциональных клавиш.
Список элементов меню прибора:
2 – Гистограмма скорости утечки (регулируемый диапазон шкалы)
3 – Режим работы и индикация состояния течеискателя
4 – Окно сервисных сообщений
5 – Индикатор функции отключения звука
6 – Индикатор включения автоматического напуска воздуха при останове измерения
7 – Гистограмма давления в ячейке анализатора
8 – Единицы измерения потока течи
9 – Индикатор, наличия корректировки отображаемого потока (нестандартная концентрация гелия, наличие дополнительных откачных средств)
10 – Индикатор функции обнуления фона
11 – Отображение давления на входе течеискателя (давление объекта контроля)
12 – Индикаторный газ (He-3, He-4 или H₂)
Поставляемые течеискатели отдельно или в составе стенда проходят проверку работоспособности и основных характеристик в Петербурге, на производственной базе ООО «ВАКТРОН».
Качество и технические характеристики поставляемого оборудования соответствуют техническим условиям завода-изготовителя, а также параметрам, указанным в технической спецификации. В комплект обязательной технической документации, поставляемой с товаром, входят:
· Технический паспорт на каждое изделие с серийным номером;
· Гарантийный талон на каждое изделие с серийным номером;
· Декларация о соответствии ТР ТС 004/2011 «О безопасности низковольтного оборудования», и ТР ТС 020/2011 «Электромагнитная совместимость технических средств» (если применимо)
Пуско-наладка, ввод в эксплуатацию и обучение (инструктаж) персонала проводятся сотрудниками компании «Вактрон», аттестованными в области неразрушающего контроля по методу ПВТ (течеискание).
- Комментарии