Комплект оборудования для контроля герметичности для производства кремниевых пластин ВАКТРОН РК-СИ

Комплект оборудования для контроля герметичности для производства кремниевых пластин ВАКТРОН РК-СИ

Для решения задачи контроля герметичности изделий предлагаем вам Комплект оборудования для контроля герметичности для производства кремниевых пластин РК на базе течеискателя масс-спектрометрического ZQJ-3200. Прибор выполнен с интерфейсом на русском языке, является наиболее новой моделью производителя и выполнен с учетом самых современных тенденцией оборудования контроля герметичности:

•  – Течеискатель масс-спектрометрический ZQJ-3200G-Vactron – проходит испытания на внесение в Госреестр СИ РФ.

• – турбомолекулярный насос Pfeiffer Vacuum SplitFlow, специально изготовленный для течеискателей, позволяющий снизить требования к вакууму в объекте контроля. Начинать испытания можно от 2500 Па и ниже, что является наилучшим значением;

• – защита анализатора от попадания загрязнений путем сепарации гелия против направления откачки ТМН;

• – форвакуумный насос ULVAC с магнитной муфтой;

• – наличие датчика высокого вакуума в анализаторе и датчика Пирани на входе течеискателя;

• – динамическая компенсация фонового сигнала, что позволяет работать даже при высоком фоне гелия в объекте;

• – надежный корпус, позволяющий проводить работы как в лаборатории, так и на открытых пространствах, а также удобно осуществлять сервисное обслуживание.

Гелиевый масс-спектрометрический течеискатель предназначен для испытаний на герметичность различных вакуумных систем и систем, находящихся под избыточным давлением, с применением гелия в качестве пробного газа. На производстве кремниевых пластин и фотоэлектрических преобразователей гелиевый течеискатель необходим на этапах пуско-наладочных работ и при дальнейшем проведении работ по техническому обслуживанию или ремонту установок выращивания монокристаллических кремниевых слитков по методу Чохральского, систем плазмохимического осаждения слоев кремния из газовой фазы (PECVD), систем магнетронного осаждения слоев прозрачного проводящего оксида (PVD), систем газоснабжения и систем утилизации отработавших газов.

Таблица основных технических и эксплуатационных характеристик течеискателя ZQJ-3200G-Vactron с насосом ISP-250

Рекомендуемая комплектация оборудования:

Часто-задаваемые вопросы и технические требования

1.      Течеискатель является мобильным, т.е. установлен на тележке и может перемещаться к месту работ одним человеком.

2.      Наличие дистанционного пульта для управления режимами и мониторинга показаний с построением временного графика.

3.      Длинный кабель питания 220 В – 6 м.

4.      Наличие ручного крана на входе и сильфонных вакуумных шлангов длиной не менее 2 м для подключения с переходниками под разные диаметры (KF16, с, KF40) + хомуты и уплотнения к ним.

5.      Чувствительность до 1е-12 мбар*л/с с автоматическим выбором диапазона при изменении входного давления.

6.      Течеискатель имеет 2 типа насосов – форвакуумный и высоковакуумный турбомолекулярный.

7.      Возможность откачки небольших по объему испытуемых изделий (например, испытательной вакуумной камеры) собственным форвакуумным насосом.

8.      Наличие способности дросселирования на входе для работы при больших давлениях, вплоть до атмосферного. Необходимо для поиска больших течей или когда насосы производственных установок отключаются по перегрузке из-за течей.

9.      Наличие комплекта для обдува гелием: Редуктор для баллона с гелием (стандартный 40-литровый баллон на 150 Атм.), шланг 10-20 м, продувочный пистолет с дросселем для настройки потока и гибкой трубкой – щупом.

10.   Большим плюсом является минимальное обслуживание с большими интервалами, чтобы не нужно было разбираться с обслуживанием насоса и заменой в нем масла и заказами расходников.

11.   Наличие калиброванной течи на разные диапазоны измерения, которая может закрыть массу вопросов в спорных ситуациях, когда необходимо убедиться в «достоверности показаний» течеискателя.

Оборудование оснащено:

Требования к документации

Требования к безопасности

УСЛОВИЯ ПРИЕМА УСТРОЙСТВА

УСЛОВИЯ ТРАНСПОРТИРОВКИ И ХРАНЕНИЯ

В течеискателе установлен источник ионов с двумя иридиевыми катодами. Катоды данного типа более устойчивы к перегоранию при резком повышении давления в подключенном объекте контроля, по сравнению с вольфрамовыми. Средний срок службы катодов данного типа при штатной эксплуатации составляет 5-7 лет. Конструкция вакуумной системы течеискателя не допускает прямого прохода газов через анализатор, что предотвращает попадание загрязнений в анализатор и в верхние ступени турбомолекулярного насоса прибора. По этой причине анализатор остается чистым, катоды служат дольше, а фоновый уровень гелия в приборе низкий и стабильный. Интерфейсы связи в течеискателе позволяют производить интеграцию прибора в автоматические линии проверки герметичности и собирать статистику результатов контроля.

Поток течи может быть индицирован как в виде текущего значения, так и в виде графика временной зависимости. Для блокировки доступа к меню «Настройки» можно использовать пароль, оставляя доступ к определенным функциям с помощью функциональных клавиш.

Список элементов меню прибора:

Поставляемые течеискатели отдельно или в составе стенда проходят проверку работоспособности и основных характеристик в Петербурге, на производственной базе ООО «ВАКТРОН».

Качество и технические характеристики поставляемого оборудования соответствуют техническим условиям завода-изготовителя, а также параметрам, указанным в технической спецификации. В комплект обязательной технической документации, поставляемой с товаром, входят:

Пуско-наладка, ввод в эксплуатацию и обучение (инструктаж) персонала проводятся сотрудниками компании «Вактрон», аттестованными в области неразрушающего контроля по методу ПВТ (течеискание).