8-812-989-04-49
8-812-740-66-02
info@vactron.org

Мульти ионизационный вакуумметр Ulvac G-TRAN SH2-1/SH2-2

Ulvac G-TRAN SH2-1 SH2-2Новейшая разработка компании ULVAC – ионизационный датчик с двумя катодами Ulvac G-TRAN SH2-1/SH2-2 c управлением с обратной связью основными параметрами измерения. Компания ULVAC разработала, запатентовала данную линейку датчиков под названием – мульти-ионизационный датчик (Multi Ionization Gauge – patent pending).

Управление током эмиссии, процессом дегазации и выбором измерительной головки в соответствии с диапазоном измерения производятся автоматически.

Особенностью данной линейки датчиков давления является возможность измерения вакуума в широком диапазоне. При этом индикация цифрового сигнала может производиться по одному каналу, что позволяет снизить издержки по обслуживанию и эксплуатации измерительного оборудования.

 

Датчики линейки Ulvac G-TRAN SH2-1/SH2-2 находят свое применение для таких технологических процессов как:

  • Производство фотоэлектронных элементов
  • Производство ЖК-панелей
  • Производство полупроводников, элементов опто- и микроэлектроники
  • Контроль процессов откачки шлюзовых и высоковакуумных камер при единичном или последовательном производстве полупроводниковых пластин
  • Измерение давления в диапазоне высокого и сверхвысокого вакуума

Основные преимущества датчиков линейки G-TRAN SH2-1/SH2-2:

  • Возможность измерения в широком диапазоне: от атмосферного давления до глубокого вакуума:
  • Мульти-ионизационный датчик (запатентован) переключается между измерительными головками, в зависимости от диапазона измерений.
  • Точное измерение атмосферного давления, при эксплуатации совместно с деформационным датчиком давления блоком SAU
  • Снижение издержек при эксплуатации. При выходе из строя какого-либо измерительного блока потребуется заменить только сломавшийся модуль.
  • Проверка состояния датчика с помощью ярких, хорошо читаемых светодиодных индикаторов на корпусе датчика
  • Простая процедура замены датчика
  • Выходной сигнал от датчика измерения 0-10 В – как линейный так, и логарифмический
  • Возможность программирования дискретных уставок (3 уровня) для модели SH2-1
  • Возможность коммуникации по протоколу обмена данных RS232C/RS485 для модели SH2-2
  • СЕ маркировка изделия о соответствии основным требованиям директив ЕС и гармонизированным стандартам Европейского Союза

При заказе мульти-ионизационного датчика, в зависимости от желаемого диапазона измерения, предусмотрены варианты поставки используя комбинации из одного, двух или трех измерительных блоков, включая датчик Пирани SPU, и деформационного датчика SAU.

Основные технические характеристики мульти-ионизационного датчика SH2

 

SH2-1

SH2-2

Порт подключения

NW16 – код заказа M34

NW25 – код заказа M35

UFC070 – код заказа M36

Скважность измерения

4 раза каждые 70 миллисекунды

Тип выходного сигнала

Линейный 0-10 В или логарифмический 0,75 В на декаду,

где формула пересчета V= 7.25+0.75*(logP-2)

Период обновления данных измерения

каждые 50 миллисекунд

Дискретные входные сигналы

  • Катод ВКЛ/ВЫКЛ
  • Катод 1/Kатод 2
  • Дегазация ВКЛ/ВЫКЛ
  • Вход с открытым коллектором
  • Инвертированная логика

-

Дискретные выходные сигналы

  • Ошибка сигнала
  • Уставка сигнала по уровню
  • Эмиссия тока в порядке
  • Проверка напряжения катода
  • Максимальное напряжение
  • Максимальный ток
  • Плавающее напряжение

-

Протокол передачи данных

-

RS232C/RS485

Светосигнальная индикация на корпусе датчика

  • ПИТАНИЕ
  • ОШИБКА
  • ЭМИССИЯ
  • Уровень 1- 2- 3
  • ПИТАНИЕ
  • ОШИБКА
  • ЭМИССИЯ
 

Ток эмиссии

1 мА в диапазоне давлений ниже 1х10-3 Па; 1 µА

Дегазация

Бомбардировка электронами 1 мА-350V

Максимальное давление перегрузки

2 атма (2х105 Па, 1,5х103 мм рт. ст., 2х103 мбара)

*-ограничено максимальным допустимым давлением фланцевого соединения с накидным хомутом

Внутренний объем датчика

34 см3

Диапазон рабочих температур

От 10 до 50 гр.Ц.

Диапазон рабочих условий влажности

От 15 до 80 % (без выпадения конденсата)

Условия хранения

От -20 до +65 гр. Ц, без выпадения конденсата, без подачи напряжения

Показатель защиты оболочки

IP30

Напряжение питания

20-28 В ПТ (пульсации на выходе менее 1%)

19 Вт (без учета потребления датчика)

Тип коннектора

D-sub 15ти-пиновый

Используемые материалы, контактирующие с откачиваемыми газами

Ионизационный датчик SH2-1/SH2-2:

  • Катод 1 – Yr/Y2O3
  • Катод 2 – W
  • Остальные внутренние элементы – PtC, M, SUS, W
    Датчик Пирани SPU:
  • Катод – Pt
  • Остальные внутренние элементы – немагнитные стали, Ni

Деформационный датчик SAU:

  • SUS316L

Совместимые контролеры

Все контролеры серии Ulvac G-TRAN ISG1/IM1R1/IM2R1

Длина кабеля

Между датчиками – 0,5 м, 1 м, 2 м.

Между датчиком и контроллером – 2 м, 5 м, 10 м, 15 м.

Точность и диапазон измерения SH2-1/SH2-2

Датчик Ульвак SH2-1 SH2-2SPUSAU

±15% в диапазоне:

5,0x10-8 – 10+1 Пa; (3,75x10-10 – 7,6х10-2 мм рт. ст.; 5,0х10-10 – 0,1 мбар)

Точность и диапазон измерения

SH2-1/SH2-2+SPU

SH2-1 SH2-2SPU 2

±15% в диапазоне:

5,0x10-8 – 10-3 Пa; (3,75x10-10 – 7,5 мм рт. ст.; 5,0х10-10 – 10 мбар)

±30% в диапазоне:

1,0x10-3 – 3,0х10+3 Пa; (7,5 – 22,5 мм рт. ст.;10 – 30 мбар)

Индикативно:

3,0х10+3 – 1,0х10+4 Пa; (22,5 – 75 мм рт. ст.; 30 – 100 мбар)

Точность и диапазон измерения

SH2-1/SH2-2+SPU+SAU

датчик Ulvac SH2-1 SH2-2SPUSAU

±15% в диапазоне:

5,0x10-8 – 10-3 Пa; (3,75x10-10 – 7,5 мм рт. ст.; 5,0х10-10 – 10 мбар)

±30% в диапазоне:

1,0x10-3 – 3,0х10+3 Пa; (7,5 – 22,5 мм рт. ст.; 10 – 30 мбар)

Индикативно:

3,0х10+3 – 1,0х10+4 Пa; (22,5 – 75 мм рт. ст.; 30 – 100 мбар)

3% от шкалы:

1,0х10+4 – 1,0х10+5 Пa; (75 – 760 мм рт. ст.; 100 – 1013 мбар)

Точность повторения

±2% в диапазоне:

1х10-6 – 1х10-1 Па; (7,6x10-9 – 7,6х10-4 мм рт. ст.; 1x10-8 – 1х10-3 мбар)

Масса

530 гр (масса измерительной головки без электроники 63 гр)

Габариты, мм

G-TRAN SH2-1/SH2-2

Данные приведены исходя из: температура +25 гр.Ц. на давлении 3,0х10+3 Па/23 мм рт. ст./30 мбар.

Запрос на поставку оборудования / Вопрос по представленному оборудованию
  1. Имя
    Пожалуйста, введите Ваше имя.
  2. Сообщение
    Пожалуйста, введите Ваше сообщение.
  3. E-mail*
    Пожалуста, введите адрес Вашей электронной почты.
  4. Телефон для связи
    Пожалуйста, введите номер Вашего телефона.
  5. Организация*
    Введите название организации
  6. Подтверждение*
    Поставьте, пожалуйста, галочку в поле "Подтверждение".

Дополнительная профессиональная образовательная программа «Основы течеискания и вакуумной техники» 25 – 27 сентября 2018

Основы течеискания и вакуумной техники»Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» имени В. И. Ульянова и ООО «ВАКТРОН» приглашают сотрудников предприятий принять участие в курсе повышения квалификации «Основы течеискания и вакуумной техники» 25 – 27 сентября 2018 года.

Базовые темы обучения:

  • Контроль герметичности в авиационной и космической отрасли
  • Обслуживание и ремонт течеискателей ULVAC HELIOT и ТИ1-50, ТИ1-30, ТИ1-22
  • Аттестация сотрудников и лаборатории неразрушающего контроля
  • Герметичность объектов военного назначения
  • Сервис пластинчато-роторных, бустерных, спиральных, золотниковых и плунжерных насосов. Выбор вакуумного масла
  • Выбор вакуумных насосов и течеискателей для металлургии, научных исследований и коммерческих задач
  • Контроль герметичности компрессорного и холодильного оборудования, приборов СВЧ, микроэлектронных изделий
  • Стенды для проверки топливных шлангов, колесных дисков, топливных баков, компрессоров
  • Поверка и калибровка в сфере контроля герметичности
  • Локализация утечек теплообменников, водонагревателей, реле и литиевых батарей

После прохождения итогового тестирования специалист получает методические материалы, видеозапись занятий и удостоверение о повышении квалификации государственного образца по университетской программе дополнительного профессионального образования. Занятия будут проходить в Санкт-Петербурге в аудиториях университета СПбГЭТУ «ЛЭТИ». Для направления на обучение необходима предварительная регистрация. Регистрация участников: 8 (812) 740-66-02, info@vactron.org

Скачать приглашение и новую программу курса (DOC)
Политика конфиденциальности

8-812-989-04-49
8-812-740-66-02
info@vactron.org