Турбомолекулярные откачные посты состоят из турбомолекулярного насоса и форвакуумного насоса, которые работают вместе для достижения высокого уровня вакуума, а также системы питания контроля вращения, охлаждения и измерения вакуума.
Турбомолекулярный насос – это высокоскоростной насос, который использует принцип турбулентности для перемещения молекул газа через систему откачки. Он состоит из ротора с высокоскоростными лопатками и статора, который создает спиральную форму для направления потока газа. Турбомолекулярные насосы могут достигать больших скоростей откачки и создавать вакуум до 10-11 Па.
|
|
Турбомолекулярный насос системы |
Форвакуумный мембранный насос системы |
Турбомолекулярный насос
Вакуумный откачной пост ТМП-20/300 построен на базе турбомолекулярного насоса FF-20/300E. Быстрота откачки – 300 л/с. Предельное давление – 5×10-7 Па.На насос установлены контроллер TD 300, кабель питания, блок питания и управления TCP240 на 220 В и система воздушного охлаждения.
Конструкция насосов FF включает несколько ступеней, в том числе молекулярную, что позволяет работать с форвакуумными насосами, обеспечивающими давление на выпускном фланце не более 10-500 Па. Давление на входном фланце – не более 1- 5 Па.
Встроенный контроллер: турбомолекулярные насосы могут напрямую приводиться в действие и управляться с помощью встроенного драйвера, который удобно интегрировать в инструментальные системы, таким образом, молекулярные насосы могут питаться напрямую от 24 В постоянного тока.
Эффективный электрический привод: Серийные турбомолекулярные насосы для приборов можно запускать в течение короткого времени и быстро останавливать с помощью функции торможения, что может принести огромные преимущества в производстве и научных экспериментах. Кроме того, можно точно контролировать скорость вращения молекулярных насосов, что гарантирует хорошую работу приборов для анализа состава газов.
Современный дизайн: Новые идеи модульной конструкции применены к серийным турбомолекулярным насосам для приборов, благодаря чему модули захвата газа, привода, управления и охлаждения являются независимыми, а также интегрированными, органически объединенными, что создает превосходную производительность и высокую надежность насосов для приборов, обеспечивает простоту в эксплуатации и удобное обслуживание.
|
|
Кривая быстроты откачки ТМН |
Габариты турбомолекулярного насоса |
Мембранный форвакуумный насос
Форвакуумный насос – это насос, который используется для создания начального уровня вакуума в системе откачки перед работой турбомолекулярного насоса. Мембранные безмасляные вакуумные насосы Ulvac DAU-20D являются одними из лучших диафрагменных насосов для обеспечения предварительной откачки турбомолекулярных насосов. Они обладают высокой производительностью и надежностью, а также могут работать в широком диапазоне давлений.
Особенности Ulvac DAU-20D включают в себя использование двух мембран для увеличения производительности, а также специальную конструкцию, которая позволяет минимизировать вибрации и шум. Это делает их идеальными для использования в чувствительных приложениях, где требуется высокая чистота вакуума.
Кроме того, Ulvac DAU-20D имеют компактный дизайн и могут быть легко интегрированы в любую систему откачки. Они также не требуют обслуживания и экономичны в эксплуатации.
В целом, Ulvac DAU-20D являются оптимальными насосами для обеспечения предварительной откачки турбомолекулярных насосов и обеспечения высокой чистоты вакуума в чувствительных к парам масел приложениях.
Турбомолекулярные откачные посты поставляются в комплекте с интегрированным контроллером, который позволяет управлять работой турбомолекулярного насоса и форвакуумного насоса. Кабель и блок питания также входят в комплект поставки.
Система воздушного охлаждения используется для охлаждения турбомолекулярного насоса, так как он может нагреваться во время работы при высоких нагрузках. Это позволяет сохранять оптимальную работу турбомолекулярного насоса и продлевает его срок службы.
Датчик для измерения вакуума
Система воздушного охлаждения используется для охлаждения турбомолекулярного насоса, так как он может нагреваться во время работы при высоких нагрузках. Это позволяет сохранять оптимальную работу турбомолекулярного насоса и продлевает его срок службы.
Датчик для измерения давления в системе – WPC-400 представляет собой комбинированный вакуумметр, состоящий из датчика Пирани и ионизационного датчика с холодным катодом. Датчики работают совместно, с включением ионизационного датчика только на соответствующем давлении. Датчики объединены таким образом, что для пользователя они являются единой измерительной системой.
Диапазон измерения: 1×10-5 – 1×10+5, точность от ±10%, до ±20% в нижней декаде и до ±50% от показания в верхней декаде в области атмосферного давления
|
|
Широкодиапазонный вакуумметр WPC400 |
Характеристика датчика вакуума |
Состав поставки и схема установки
Схема установки
№ |
Товары (работы, услуги) |
Кол-во |
Ед. |
---|---|---|---|
1 |
Вакуумный откачной пост ТМП-20/300М |
1 |
шт. |
1.1 |
Турбомолекулярный насос FF-100/300E DN100 ISO-K |
1 |
шт. |
1.2 |
Интегрированный контроллер TD 300 |
1 |
шт. |
1.3 |
Кабель питания |
1 |
шт. |
1.4 |
Блок питания и управления TCP240 на 220В |
1 |
шт. |
1.5 |
Система воздушного охлаждения |
1 |
шт. |
1.6 |
Высоковакуумный мембранный насос ULVAC DAU-20D (20 л/мин, 200 Па) |
1 |
шт. |
1.7 |
Широкодиапазонный вакуумметр WPC400 |
1 |
шт. |
1.8 |
Затвор ручной DN100 ISO-K |
1 |
шт. |
1.9 |
Линия байпасной откачки с клапаном |
1 |
шт. |
1.10 |
Рама для установки системы |
1 |
шт. |
Технические характеристики на вакуумный откачной пост ТМП-20/300М
Характеристика |
Ед. изм. |
Значение |
---|---|---|
Вакуумный откачной пост |
– |
ТМП-20/300 |
Турбомолекулярный насос |
|
FF-100/300 |
Входной патрубок |
|
DN100 CF |
DN100 ISO-K |
||
Выхлопной патрубок ТМН |
DN25 |
|
Быстрота действия |
л/с |
N2:295 |
He:250 |
||
H2:200 |
||
H2:305 |
||
Степень сжатия |
N2:1E9 |
|
He:1E6 |
||
H2:1E5 |
||
H2:1E9 |
||
Предельное остаточное давление |
Па |
CF:5×10-7 |
ISO-K:2.5×10-6 |
||
Быстрота откачки форвакуумного насоса |
л/мин |
20 |
Предельное остаточное давление форвакуумного насоса |
Па |
≤ 200 |
Поток откачиваемого газа ТМН |
см3/мин |
N2:120 |
He:50 |
||
Быстрота вращения ТМН |
об/мин |
51000 |
Время старта |
мин |
≤4 |
Охлаждение |
Воздух или вода |
|
Контроллер |
TD-300/TCP-240 |
|
TC-100 |
||
Масса |
кг |
40(ISO-K) |
47(CF) |
Быстрота откачки, м³/ч | 1080 |
Предельное давление, Па | 0,0000005 |