Вакуумметр с индикатором ДА-15-В

Вакуумметр с индикатором ДА-15-В

Для применения в вакуумной технике разработан эталонный датчик абсолютного давления МИДА-ДА-15-Э c фланцевым присоединением KF25. В эталонных датчиках используются тензопреобразователи на основе гетероэпитаксиальных структур «кремний на сапфире», что обеспечивает высокую точность, стабильность и надежность приборов. Эти датчики обеспечивают суммарную погрешность не более 0,05 % в диапазоне давлений от  атмосферного до  1·10^-2 мм рт.ст. при температуре окружающей среды от +10 °С до +40 °С.

Коррекция нелинейности и температурной погрешности выполняется в электронном блоке датчика, при этом термочувствительным элементом является мостовая измерительная схема тензопреобразователя, что позволяет снять вопрос о равенстве температуры преобразователя и термочувствительного элемента. Настройка и последующее считывание результатов измерений осуществляется посредством интерфейсов RS-485.  Для взаимодействия с датчиками используется протокол Modbus.
Датчик поставляется с индикатором сигнала, который получает сигнал по линии Modbus.

Технические характеристики вакуумметра с индикатором ДА-15-В

Область применения	Вакуумметр МИДА для вакуумной техники. Такой датчик можно использовать вместо термопарного вакуумметра с повышенной точностью измерения.
Вид измеряемого давления	Абсолютное
Диапазоны измеряемых давлений, мм рт. ст.	от 0,1 до 760 (0,01 МПа)
Абсолютная погрешность, не более, %	± 0,05 мм рт. ст.
Диапазон рабочих температур, °C	+ 10 … + 35
Степень защищенности от пыли и воды	IP 65
Тип подключения	Фланец KF25 (NW25), KF16
Выходной сигнал	RS-485 / Modbus RTU
Напряжение питания, В	3-12
Металл контактирующий с измеряемой средой	Титановый сплав
Межповерочный интервал	1 год
Номер в Госреестре средств измерения РФ	50730-13

Следует отметить высокое быстродействие таких датчиков, достигаемое за счет применения производительного микроконтроллера и высокоскоростного АЦП. Так, минимальное время обновления результатов измерения для датчиков МИДА-15 равно 25 мс. Максимальное время ответа зависит от таких настроек, как количество точек усреднения, использование аппаратного фильтра, интервал проведения измерений.

Датчики внесены в реестр средств измерений РФ.  Датчики ДА-15-Э обеспечивают приемлемую точность измерения в диапазоне давлений от атмосферного до 1·10^-1мм рт.ст.; в случае, если на датчик не будет передаваться вибрация, возможно снизить диапазон измерений до 1·10^-2 мм рт.ст. Датчик ДА-15-Э охватывают широкий диапазон давлений. Наличие цифрового выходного сигнала также является ощутимым достоинством. Из отрицательных моментов надо отметить зависимость точности показаний от вибрации (что свойственно любым измерителям давления мембранного типа). Также для получения приемлемой точности перед каждым измерением необходимо «обнулять» датчик [1].

Литература:
1. Васьков Ю. А., Савченко Е. Г., Стучебников В. М. Высокоточные цифровые датчики абсолютного давления МИДА-ДА-15-Э на основе структур" кремний на сапфире" //Вакуумная техника и технология. – 2019. – Т. 29. – №. 2. – С. 24-26.