8-812-989-04-49
8-812-740-66-02
info@vactron.org

Квадрупольная система анализа технологического газа Ulvac Qulee RGM-202/RGM-302

Квадрупольная система анализа технологического газа Ulvac Qulee RGM-202/RGM-302Безмасляная система анализа технологического газа Ulvac Qulee RGM-202/RGM-302 разработана для технологических применений, таких как травление, химическое осаждение и других газовых процессов в вакууме. Используется уникальный источник ионов и система вакуумных насосов производства японской компании ULVAC, которые позволяют достичь стабильных результатов измерений.

• Разработан для работы в составе систем травления и химического осаждения из газовой фазы
• Закрытый ионный источник с использованием магнитного поля. Мягкая ионизация создаёт меньшую газовую диссоциацию и позволяет обеспечить более высокую чувствительность. В ионизационной камере распад и абсорбция из-за термических реакций сведены к минимуму
• Малое расстояние между технологической камерой и источником ионов позволяет получить быстрый отклик
• Подходит для динамического контроля процессов
• Доступен широкий диапазон рабочих давлений от 1×10-6 до 13 кПа (от 7,5×10-9 до 97,5 Торр, от 1×10-8 до 130 мбар)

• Встроенный экран - для управления не обязателен компьютер
• Простота включения и управления - принцип "Одного нажатия"
• Возможность высокотемпературного отжига при 120 °С и при 250 °С, при снятом чувствительном элементе
• Функции защиты ионного источника и вторичного электронного умножителя
• Возможность проведения различных испытаний на герметичность. Проверка герметичности гелием, воздухом и по нарастанию давления
• Измерение общего давления (ионизационный вакуумметр)
• в комплекте прилагается программное обеспечение для управления анализатором остаточных газов Qulee. Оно совместимо с Windows
• Комплект для быстрой установки
• Сертифицирован по стандарту CE, изделие является безопасным для оператора и безвредно для окружающей среды

Технические характеристики системы анализа технологического газа Ulvac Qulee RGM-202/RGM-302

Наименование модели

RGM-202

RGM-302

Вид масс-анализатора

Квадрупольный

Диапазон анализируемых масс

1–200 а.е.м.

1–300 а.е.м.

Разрешающая способность

M/∆M = 1 M (10% от высоты пика)

Тип детектора

Электрометрический усилитель / Коллектор Фарадея

Чувствительность

1×10-3 А/Па

1,33×10-1 А/Торр

0,1×10-4 А/мбар

Минимальное детектируемое парциальное давление

1×10-10 Па

7,5×10-13 Торр 

1×10-12 мбар

Источник ионов

Закрытый источник ионов с применением магнитного поля

Нить накала

Ir/Y2O3 V образной формы, 1 шт.

Напряжение ионизации

От 20 до 70 эВ

Ток эмиссии

10 мкА

Диапазон усиления постоянного тока

От 1×10-5 до 1×10-12 А

Максимальная рабочая температура обезгаживания

120 °С (248 °Ф)

Внешняя система вакуумная откачки

Клапан входа газа

Компактный электропроводящий клапан с 3-мя различными режимами газа на входе (VPC-030)

Максимальное давление отбора проб

13 кПа

97,5 Торр

130 мбар

Дифференциальная система откачки

С промежуточным портом и портом продувки газа

Турбомолекулярный насос

67 л/с: N2

Форвакуумный насос

спиральный Ulvac DIS090

Вакуумметр пирани

Ulvac SW1-1

Ионизационный вакуумметр

Ulvac GI-M2

Масса

Система откачки: 57 кг / Контроллер: 38 кг

Питание и газ

Источник питания

AC 100 В, 15 А

Сжатый воздух

Сухой N2: от 0,4 до 0,7 МПа (Ø6 мм БРС)

Сухой N2: от 3×103 до 5,25×103 Торр (Ø6 мм БРС)

Сухой N2: от 4 до 7 мбар (Ø6 мм БРС)

Устройство контроля

Функция “одного касания”

Присутствует /He/H2O/N2/O2/другие газы

Последовательный интерфейс связи

RS232C/RS485

Внешний ввод/вывод и другое

Аналоговый вход ×2 (от 0 до 10 В)

Выход заданного значения ×2 (ошибка, авария)

Внешняя блокировка

Прочее

Устройство дегазации

Ленточный нагреватель

Подставка

Стандартная

Блок датчика (кабель блока управления)

5 м

Программное обеспечение

Qulee QSC вер.3.0 и новее (совместимо с Windows 7/8)

Опционально

ПК

Применение масс-спектрометрической системы анализа Ulvac Qulee RGM-202/RGM-302

  • Применяется для контроля процессов травления и процессов химического парофазного осаждения
  • Контроль состава газовой фазы во время процессов
  • Финишный контроль процессов травления и очистки
  • Анализ остаточных газов в камерах
  • Проверка систем на герметичность

Габариты измерительного блока Ulvac Qulee RGM-202/RGM-302

Габаритные размеры высокочувствительного квадрупольного масс-анализатора Ulvac Qulee RGM-202/RGM-302 Габаритные размеры высокочувствительного квадрупольного масс-анализатора Ulvac Qulee RGM-202/RGM-302

Габариты измерительного блока управления системы газового анализа Ulvac Qulee RGM-202/RGM-302

Габариты измерительного блока управления системы газового анализа Ulvac Qulee RGM-202/RGM-302

Запрос на поставку оборудования / Вопрос по представленному оборудованию
  1. Имя
    Пожалуйста, введите Ваше имя.
  2. Сообщение
    Пожалуйста, введите Ваше сообщение.
  3. E-mail*
    Пожалуста, введите адрес Вашей электронной почты.
  4. Телефон для связи
    Пожалуйста, введите номер Вашего телефона.
  5. Организация*
    Введите название организации
  6. Подтверждение*
    Поставьте, пожалуйста, галочку в поле "Подтверждение".

Дополнительная профессиональная образовательная программа «Основы течеискания и вакуумной техники» 25 – 27 сентября 2018

Основы течеискания и вакуумной техники»Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» имени В. И. Ульянова и ООО «ВАКТРОН» приглашают сотрудников предприятий принять участие в курсе повышения квалификации «Основы течеискания и вакуумной техники» 25 – 27 сентября 2018 года.

Базовые темы обучения:

  • Контроль герметичности в авиационной и космической отрасли
  • Обслуживание и ремонт течеискателей ULVAC HELIOT и ТИ1-50, ТИ1-30, ТИ1-22
  • Аттестация сотрудников и лаборатории неразрушающего контроля
  • Герметичность объектов военного назначения
  • Сервис пластинчато-роторных, бустерных, спиральных, золотниковых и плунжерных насосов. Выбор вакуумного масла
  • Выбор вакуумных насосов и течеискателей для металлургии, научных исследований и коммерческих задач
  • Контроль герметичности компрессорного и холодильного оборудования, приборов СВЧ, микроэлектронных изделий
  • Стенды для проверки топливных шлангов, колесных дисков, топливных баков, компрессоров
  • Поверка и калибровка в сфере контроля герметичности
  • Локализация утечек теплообменников, водонагревателей, реле и литиевых батарей

После прохождения итогового тестирования специалист получает методические материалы, видеозапись занятий и удостоверение о повышении квалификации государственного образца по университетской программе дополнительного профессионального образования. Занятия будут проходить в Санкт-Петербурге в аудиториях университета СПбГЭТУ «ЛЭТИ». Для направления на обучение необходима предварительная регистрация. Регистрация участников: 8 (812) 740-66-02, info@vactron.org

Скачать приглашение и новую программу курса (DOC)
Политика конфиденциальности

8-812-989-04-49
8-812-740-66-02
info@vactron.org