8-812-989-04-49
8-812-740-66-02
info@vactron.org

Высокочувствительный квадрупольный масс-анализатор Ulvac Qulee HGM

Высокочувствительный квадрупольный масс-анализатор Ulvac Qulee HGMНовый продукт японской компании ULVAC – высокочувствительный газоанализатор Qulee HGM. HGM – это серия анализаторов остаточных газов с революционной простотой использования. Ulvac Qulee HGM обладает чувствительностью для всех моделей 2,5×10-6 А/Па. Qulee HGM позволяет проводить эффективный контроль содержания газов в ходе различных научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ и других процессов в вакууме.

• Наиболее подходит для исследовательских лабораторий
Это серия приборов с высокой чувствительностью 2,5×10-6 А/Па (3,3×10-4 А/Торр, 2,5×10-4 А/мбар)
• Простое техническое обслуживание - Нить накала, источник ионов, умножитель вторичных электронов очень легко заменить.

• Встроенный экран - для управления не обязателен компьютер
• Простота включения и управления - принцип "Одного нажатия"
• Возможность высокотемпературного отжига при 120 °С и при 250 °С, при снятом чувствительном элементе
• Функции защиты ионного источника и вторичного электронного умножителя
• Возможность проведения различных испытаний на герметичность. Проверка герметичности гелием, воздухом и по нарастанию давления
• Измерение общего давления (ионизационный вакуумметр)
• в комплекте прилагается программное обеспечение для управления анализатором остаточных газов Qulee. Оно совместимо с Windows
• Комплект для быстрой установки
• Сертифицирован по стандарту CE, изделие является безопасным для оператора и безвредно для окружающей среды

Технические характеристики квадрупольного масс-спектрометра Ulvac Qulee HGM

Наименование модели

HGM-202

HGM-302

Вид масс-анализатора

Квадрупольный

Диапазон анализируемых масс

1–200 а.е.м.

1–300 а.е.м.

Разрешающая способность

M/∆M = 1 M (10% от высоты пика)

Тип детектора

Коллектор Фарадея

Электрометрический усилитель

Коллектор Фарадея

Электрометрический усилитель

Чувствительность

2,5×10-6 А/Па

4 А/Па

2×10-6 А/Па

4 А/Па

3,3×10-4 А/Торр

533 А/Торр

3,3×10-4 А/Торр

533 А/Торр

2,5×10-4 А/мбар

400 А/мбар

2,5×10-4 А/мбар

400 А/мбар

Минимально детектируемое парциальное давление

~10-9 Па

~10-13 Па

~10-9 Па

~10-13 Па

~7,5×10-12 Торр

~7,5×10-16 Торр

~7,5×10-12 Торр

~7,5×10-16 Торр

~1×10-11 мбар

~1×10-12 мбар

~1×10-11 мбар

~1×10-12 мбар

Максимальное рабочее давление

1×10-2  Па

7,5×10-3 Торр

1×10-4 мбар

Нить накала

Ir/Y2O3, 2 шт.

Напряжение ионизации

От 25 до70 эВ (по умолчанию 50 эВ)

Ток эмиссии

0,1 мА/0,5 мА/1,0 мА (по умолчанию 0,5 мА)

Дегазация

Электронная бомбардировка, 330 В, 5мА

Функция измерения общего давления

Присутствует

Напряжение ЭМУ

От -1,0 до 3,0 кВ (шаг 1 В)

Функция одного касания

Присутствует /He/H2O/N2/O2/другие газы

Функция проверки на герметичность одним касанием

Присутствует

Питание

Постоянный ток, 24 В ± 10%, 50 Вт

Масса (анализатор/детектор)

2,4 кг/0,81 кг

Максимальная рабочая температура анализатора

250 °С (482 °Ф)

Максимальная температура обезгаживания (электроника удалена)

300 °С (572 °Ф)

Диапазон рабочих температур

От 10 до 40 °С (от 50 до 104 °Ф)

Рабочий диапазон влажности

От 15 до 80% (не конденсат)

IP рейтинг

IP30 (анализатор)

Разъём питания

MSTBV2.5/3-GF-5.08

Последовательный интерфейс связи

RS232C/RS485 (опционально)

Внешний разъём входа/выхода

D-sub на 15 разъёмов (винт M2.6)

Разъём последовательного интерфейса

6-и пиновый разъём (RJ-11)

Внешний сигнал входа/выхода

Аналоговый вход (0–10 В) ×2, внешний вход защиты (защита от давления) ×1, выход ошибки ×1 (Нить накала, ЭМУ, ВМ), выход заданного значения парциального давления ×2 (ошибка, авария), выход заданного значения общего давления ×1

Программное обеспечение

Qulee QSC вер.3.0 и позже (совместимо с Windows 7/8)

Стандартное вспомогательное оборудование

Кабель питания, кабель связи (длина 3м), ПО (установочный диск), инструкция по эксплуатации ( со страницами для заметок)

Опциональное оборудование

QIP( специальная программа для автоизмерений), кабель связи (длинной 5 м, 10 м, 15 м), адаптер питания постоянного тока, RS232C/485 переходник, RS485 ответвительный соединитель и соединительный провод, разъём входа/выхода, USB/RS232C микропереходник, обогревательный кожух, сумка для устройства, инструкция по эксплуатаци с чистыми листами для заметок

Сертификация

ЕС

Применение высокочувствительногоквадрупольного масс-анализатора Ulvac Qulee HGM

  • Контроль состава газовой фазы для систем полупроводникового производства, изготовление фотовольтаических панелей (солнечных батарей) и для процессов литографии
  • Анализ остаточных газов в процессах вакуумного напыления и осаждения тонких плёнок
  • Анализ остаточного газа в составе высоковакуумного насосного оборудования
  • Анализ остаточного газа в сублимационной системе сушки
  • Анализ различных газов для проведения научных исследований и разработок

Габаритные размеры высокочувствительного квадрупольного масс-анализатора Ulvac Qulee HGM

Габаритные размеры высокочувствительного квадрупольного масс-анализатора Ulvac Qulee HGM

Запрос на поставку оборудования / Вопрос по представленному оборудованию
  1. Имя
    Пожалуйста, введите Ваше имя.
  2. Сообщение
    Пожалуйста, введите Ваше сообщение.
  3. E-mail*
    Пожалуста, введите адрес Вашей электронной почты.
  4. Телефон для связи
    Пожалуйста, введите номер Вашего телефона.
  5. Организация*
    Введите название организации
  6. Подтверждение*
    Поставьте, пожалуйста, галочку в поле "Подтверждение".

Дополнительная профессиональная образовательная программа «Основы течеискания и вакуумной техники» 25 – 27 сентября 2018

Основы течеискания и вакуумной техники»Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» имени В. И. Ульянова и ООО «ВАКТРОН» приглашают сотрудников предприятий принять участие в курсе повышения квалификации «Основы течеискания и вакуумной техники» 25 – 27 сентября 2018 года.

Базовые темы обучения:

  • Контроль герметичности в авиационной и космической отрасли
  • Обслуживание и ремонт течеискателей ULVAC HELIOT и ТИ1-50, ТИ1-30, ТИ1-22
  • Аттестация сотрудников и лаборатории неразрушающего контроля
  • Герметичность объектов военного назначения
  • Сервис пластинчато-роторных, бустерных, спиральных, золотниковых и плунжерных насосов. Выбор вакуумного масла
  • Выбор вакуумных насосов и течеискателей для металлургии, научных исследований и коммерческих задач
  • Контроль герметичности компрессорного и холодильного оборудования, приборов СВЧ, микроэлектронных изделий
  • Стенды для проверки топливных шлангов, колесных дисков, топливных баков, компрессоров
  • Поверка и калибровка в сфере контроля герметичности
  • Локализация утечек теплообменников, водонагревателей, реле и литиевых батарей

После прохождения итогового тестирования специалист получает методические материалы, видеозапись занятий и удостоверение о повышении квалификации государственного образца по университетской программе дополнительного профессионального образования. Занятия будут проходить в Санкт-Петербурге в аудиториях университета СПбГЭТУ «ЛЭТИ». Для направления на обучение необходима предварительная регистрация. Регистрация участников: 8 (812) 740-66-02, info@vactron.org

Скачать приглашение и новую программу курса (DOC)
Политика конфиденциальности

8-812-989-04-49
8-812-740-66-02
info@vactron.org