8-812-989-04-49
8-812-740-66-02
info@vactron.org

Компактный квадрупольный масс-спектрометр Ulvac Qulee СGM

Компактный квадрупольный масс-спектрометр Ulvac Qulee СGMКомпактная версия квадрупольного масс-анализатора Ulvac Qulee СGM обеспечивает высокую точность и разрешающую способность даже при относительно высоких давлениях (до 1 Па).

• Этот анализатор идеально подходит для контроля состава газовой фазы систем распыления
• Не требуется дифференциальная система откачки
Дифференциальная система откачки не нужна при давлениях от 1 Па (7,5×10-3 Торр, 1×10-2 мбар) или ниже
• Встроенный экран - для управления не нужен компьютер
• Простота включения и управления - принцип "Одного нажатия"
• Возможность высокотемпературного отжига при 120 °С и при 250 °С, при снятом чувствительном элементе
• Функция дегазации электронной бомбардировкой
• Функции защиты ионного источника и вторичного электронного умножителя

• Возможность проведения различных испытаний на герметичность. Проверка герметичности гелием, воздухом и по нарастанию давления
• Измерение общего давления (ионизационный вакуумметр)
• в комплекте прилагается программное обеспечение для управления анализатором остаточных газов Qulee. Оно совместимо с Windows
• Комплект для быстрой установки
• Сертифицирован по стандарту CE, изделие является безопасным для оператора и безвредно для окружающей среды

Технические характеристики квадрупольного масс-спектрометра Ulvac Qulee СGM

Наименование модели

CGM-051

CGM-052

Вид масс-анализатора

Квадрупольный

Диапазон анализируемых масс

1–50 а.е.м.

Разрешающая способность

M/∆M = 1 M (10% от высоты пика)

Тип детектора

Коллектор Фарадея

Электрометрический усилитель / Коллектор Фарадея

Чувствительность

10-7 А/Па

10-4 А/Па

1,33×10-5 А/Торр

1,33×10-2 А/Торр

1×10-5 А/мбар

1×10-2 А/мбар

Минимально детектируемое парциальное давление

10-7 Па

10-10 Па

7,5×10-10 Торр

7,5×10-13 Торр

1×10-9 мбар

1×10-12 мбар

Максимальное рабочее давление

2 Па

КФ: 2 Па, ЭМУ: 1×10-2 Па

1,5×10-2 Торр

КФ:1,5×10-2 Торр,

ЭМУ: 7,5×10-5 Торр

2×10-2 мбар

КФ:2×10-2 мбар,

ЭМУ: 1×10-4 мбар

Линейность

1 Па

7,5×10-3 Торр

1×10-2 мбар

Нить накала

Ir/Y2O3, 2 шт.

Напряжение ионизации

40 эВ

Ток эмиссии

0,1 мА/0,4 ма

Дегазация

Электронная бомбардировка, 300 В, 5мА

Функция измерения общего давления

Присутствует

Функция одного касания

Присутствует /He/H2O/N2/O2/другие газы

Функция проверки на герметичность одним касанием

Присутствует

Питание

Постоянный ток, 24 В ± 10%, 50 Вт

Масса (анализатор/детектор)

2,1 кг/0,44 кг

2,2 кг/0,44 кг

Максимальная рабочая температура анализатора

120 °С (248 °Ф)

Максимальная температура обезгаживания (электроника удалена)

250 °С (482 °Ф)

Диапазон рабочих температур

От 10 до 40 °С (от 50 до 104 °Ф)

Рабочий диапазон влажности

От 15 до 80% (без конденсата)

IP рейтинг

IP30 (анализатор)

Разъём питания

MSTBV2.5/3-GF-5.08

Последовательный интерфейс связи

RS232C/RS485 (опционально)

Внешний разъём входа/выхода

D-sub на 15 разъёмов (винт M2.6)

Разъём последовательного интерфейса

6-и пиновый разъём (RJ-11)

Внешний сигнал входа/выхода

Аналоговый вход (0–10 В) ×2, внешний вход защиты (защита от давления) ×1, выход заданного значения парциального давления ×2 (ошибка, авария), выход заданного значения общего давления ×1

Программное обеспечение

Qulee QSC вер.3.0 и позже (совместимо с Windows 7/8)

Стандартное вспомогательное оборудование

Кабель питания, кабель связи (длина 3м), ПО (установочный диск), инструкция по эксплуатации (со страницами для заметок)

Опциональное оборудование

QIP (специальная программа для автоизмерений), кабель связи (длинной 5 м, 10 м, 15 м), адаптер питания постоянного тока, RS232C/485 переходник, RS485 ответвительный соединитель и соединительный провод, разъём входа/выхода, USB/RS232C микропереходник, обогревательный кожух, сумка для устройства

Стандарт сертификации

ЕС

Применение квадрупольного масс-анализатора Ulvac Qulee СGM

  • Контроль состава газовой фазы для систем полупроводникового производства, изготовление фотовольтаических панелей (солнечных батарей) и процессов литографии
  • Анализ остаточных газов в процессах вакуумного осаждения тонких плёнок
  • Контроль загрязнений (H2O и т.д.) в процессах вакуумного осаждения тонких плёнок
  • Для проверки изделий и систем на герметичность

Габаритные размеры квадрупольного масс-анализатора Ulvac Qulee СGM

Компактный квадрупольный масс-спектрометр Ulvac Qulee СGM

Запрос на поставку оборудования / Вопрос по представленному оборудованию
  1. Имя
    Пожалуйста, введите Ваше имя.
  2. Сообщение
    Пожалуйста, введите Ваше сообщение.
  3. E-mail*
    Пожалуста, введите адрес Вашей электронной почты.
  4. Телефон для связи
    Пожалуйста, введите номер Вашего телефона.
  5. Организация*
    Введите название организации
  6. Подтверждение*
    Поставьте, пожалуйста, галочку в поле "Подтверждение".

Дополнительная профессиональная образовательная программа «Основы течеискания и вакуумной техники» 5 – 7 июня 2018

ООО «ВАКТРОН» и Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» имени В.И. Ульянова приглашают сотрудников предприятий принять участие в программе повышения квалификации «Основы течеискания и вакуумной техники» 5 – 7 июня 2018 года.

Основы течеискания и вакуумной техникиЛекторы курса:

  1. Преподаватели университета СПбГЭТУ «ЛЭТИ» — расчетные и исследовательские задачи
  2. Сотрудники компании ВАКТРОН — разработка систем течеискания и вакуумирования
  3. Представители завода «Измеритель» — сервис и запчасти для течеискателей ТИ
  4. Специалисты метрологической организации — поверка и калибровка в течеискании
  5. Представители аттестационного центра — аттестация персонала и лаборатории NDT
  6. Инженеры по сервису ULVAC, NOLEK и PEDRO GIL — модернизация и обслуживание вакуумных насосов и аналитических систем

Базовые темы обучения:

  • Вакуумная техника и контроль герметичности в авиационной и космической отрасли
  • Герметичность объектов военного назначения
  • Выбор вакуумных насосов и течеискателей для металлургии, научных исследований и коммерческих задач
  • Ремонт вакуумных печей и напылительных установок
  • Автоматические линии контроля герметичности».

После прохождения итогового тестирования специалист получает методические материалы, видеозапись занятий и удостоверение о повышении квалификации государственного образца по университетской программе дополнительного профессионального образования. Занятия будут проходить в Санкт-Петербурге в аудиториях университета СПбГЭТУ «ЛЭТИ» с посещением сервисного участка ВАКТРОН. Для направления на обучение необходима предварительная регистрация. Регистрация участников: 8 (812) 740-66-02, info@vactron.org

Скачать приглашение и программу курса (DOC)

8-812-989-04-49
8-812-740-66-02
info@vactron.org