8-812-989-04-49
8-812-740-66-02
info@vactron.org

Спектральные эллипсометры Ulvac Unecs

Высокоскоростные спектральные эллипсометры ULVAC UNECSКомпания Вактрон представляет в России спектральные эллипсометры ULVAC UNECS, изготавливаемые в Японии. UNECS – это серия спектральных эллипсометров для быстрого и точного измерения показателя преломления и толщины тонких пленок.

Применение уникального метода измерения позволяет проводить высокоскоростные измерения при малых габаритах устройства. Широкая серия приборов Ulvac Unecs включает в себя портативные, автоматизированные, встроенные и другие типы моделей.

Особенности cпектральных эллипсометров ULVAC UNECS

• Высокоскоростное измерение

Реализован метод моментального снимка и высокоскоростное измерение в 20 мс на точку.

• Видимая область спектра

Изменяемая область спектра длин волн. Стандартная область 530 нм ~ 750 нм и видимая область 380 нм ~ 760 нм.

• Компактный сенсор

Сенсор легок и очень компактен. Он состоит из оптического элемента без вращающихся частей. Кроме того, нет необходимости в периодическом техническом обслуживании.

• Широкая приборная серия

Широкая серия приборов включает в себя портативные, автоматизированные, встроенные и другие типы моделей.

Технические характеристики cпектральных эллипсометров ULVAC UNECS

Название модели

UNECS-Portable

UNECS-1500M

UNECS-1500A

UNECS-2000A

UNECS-3000A

Метод измерения

Спектроскопическая эллипсометрия

Измеряемые пленки *0

Прозрачные и полупрозрачные пленки

Диапазон длин волн

530~750 нм или 380~760 нм

Источник света

Галогенная или ксеноновая лампа

Размер пятна

d1 мм или 0.3 мм

Измерение многослойных пленок

Измерение толщины пленки:  максимум 6 слоев

Измерение толщины и оптических параметров пленки: 1 слой  (только для верхнего слоя)

Угол падения

70°

Повторяемость для толщин пленок *2*3*4

0.1 нм

Диапазон измерения толщин пленок *3

1 нм ~ 2 мкм

Время измерения *3

Образцы

20~3000 мс (возможна настройка)

Анализ

300 мс

Размер предметного столика

Закрепленный  (<d150 мм, отсоединяемый)

d150 мм

d200 мм

d300 мм

Шаг поворота столика и измерений

R

90 мм ручная

0~75 мм программируемая (разрешение 0.1 мм)

0~100 мм программируемая (разрешение 0.1 мм)

0~150 мм программируемая (разрешение 0.1 мм)

θ

360°   ручная

0~359.9°  программируемая (разрешение 0.1°)

Кол-во автомат. измеряемых точек

200 (доп. опция:2,000)            200 (доп.опция:2,000)                               2,000

Фокусировка (по оси Z)

Ручная

Автоматическая

Максимальная толщина образца

8 мм                                                    10 мм

30 мм

Максимальный вес образца

10 кг

Функционал измерений

① Измерение Ψ ( λ), Δ ( λ)

② Расчет толщины пленки(D) , показателя преломления(N), коэффициента поглощения(K)

② Построение цветной 2D карты (доп. опция: 3D построение)

База данных материалов

Различные пленки, напр.: оксидные или нитридные (доступно изменение и добавление)

Камера для наблюдения

−                                                           Как доп. опция

Управляющий ПК

ПК Ноутбук Windows 7

Габариты Ш×Д×В, мм

Измерительное устройство: 220×268×244

(Не включая ПК, контроллер, источник света)

Измерительное устройство: 300×400×384

(Не включая ПК и источник света)

Основное устройство: 400×525×370

Основное устройство: 450×620×370

Контроллер: 204×500×509

Вес

Измерительное устройство: 2.2 кг. Столик 1.3 кг.

Измерительное устройство: 10.3 кг

Основное устройство: 24 кг                                           Основное устройство: 31 кг

Контроллер: 19 кг

Условия работы

Питание

AC100 /200В макс. 3A 50/60 Гц

AC100 /200В макс. 6A 50/60 Гц

Вакуум

75 кПа (при использовании вакуумного предметного столика)

Рабочая среда

Температура

Влажность

25±5 [ ͦС]

65[%RH] или меньше (Без конденсации)

Высокоскоростные спектральные эллипсометры ULVAC UNECS

  1. Полупрозрачная пленка является верхней границей при измерении толщины пленки.
  2. Для SiO2 пленки (около 100 нм) на Si подложке, когда только толщина пленки предполагается измеряемым параметром.
  3. Для измерения однослойной пленки SiO2 на Si подложке.
  4. Стандартное отклонение (1σ) для 10 последовательных измерений.

Применение cпектральных эллипсометров ULVAC UNECS

Измерение толщины (D), показателя преломления (N) и коэффициента поглощения (K) для прозрачных и полупрозрачных тонких пленок (оксидные пленки, нитридные пленки, фоторезистивные пленки, пленки оксида индия-олова и т.д.).

Дополнительные опции для эллипсометров ULVAC UNECS

  • Стандартный образец (100 нм SiO2/Si)
  • Руководство по эксплуатации (обычная или глянцевая бумага)
  • Построение карты в широком разрешении 2,000 точек (для моделей 1500A/2000A)
  • 3D цветная карта (для моделей 1500A/2000A/3000A)
  • Внутренняя камера для наблюдения за образцом (для моделей 1500A/2000A/3000A)

Пример - UNECS-3000A 2D Цветная карта

Высокоскоростные спектральные эллипсометры [UNECS]SiO2 пленка на подложке d300 мм
Время измерения: 133 сек /169 точек

Спектральные эллипсометры Ulvac Unecs

  1. Встраиваемый эллипсометр Ulvac Unecs-1M
  2. Портативный спектральный эллипсометр Ulvac Unecs-portable
  3. Спектральный эллипсометр Ulvac Unecs-1500M
  4. Автоматические спектральные эллипсометры Ulvac Unecs-1500A/2000A/3000A

Запрос на поставку оборудования / Вопрос по представленному оборудованию
  1. Имя
    Пожалуйста, введите Ваше имя.
  2. Сообщение
    Пожалуйста, введите Ваше сообщение.
  3. E-mail*
    Пожалуста, введите адрес Вашей электронной почты.
  4. Телефон для связи
    Пожалуйста, введите номер Вашего телефона.
  5. Организация*
    Введите название организации
  6. Подтверждение*
    Поставьте, пожалуйста, галочку в поле "Подтверждение".

Дополнительная профессиональная образовательная программа «Основы течеискания и вакуумной техники» 25 – 27 сентября 2018

Основы течеискания и вакуумной техники»Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» имени В. И. Ульянова и ООО «ВАКТРОН» приглашают сотрудников предприятий принять участие в курсе повышения квалификации «Основы течеискания и вакуумной техники» 25 – 27 сентября 2018 года.

Базовые темы обучения:

  • Контроль герметичности в авиационной и космической отрасли
  • Обслуживание и ремонт течеискателей ULVAC HELIOT и ТИ1-50, ТИ1-30, ТИ1-22
  • Аттестация сотрудников и лаборатории неразрушающего контроля
  • Герметичность объектов военного назначения
  • Сервис пластинчато-роторных, бустерных, спиральных, золотниковых и плунжерных насосов. Выбор вакуумного масла
  • Выбор вакуумных насосов и течеискателей для металлургии, научных исследований и коммерческих задач
  • Контроль герметичности компрессорного и холодильного оборудования, приборов СВЧ, микроэлектронных изделий
  • Стенды для проверки топливных шлангов, колесных дисков, топливных баков, компрессоров
  • Поверка и калибровка в сфере контроля герметичности
  • Локализация утечек теплообменников, водонагревателей, реле и литиевых батарей

После прохождения итогового тестирования специалист получает методические материалы, видеозапись занятий и удостоверение о повышении квалификации государственного образца по университетской программе дополнительного профессионального образования. Занятия будут проходить в Санкт-Петербурге в аудиториях университета СПбГЭТУ «ЛЭТИ». Для направления на обучение необходима предварительная регистрация. Регистрация участников: 8 (812) 740-66-02, info@vactron.org

Скачать приглашение и новую программу курса (DOC)
Политика конфиденциальности

8-812-989-04-49
8-812-740-66-02
info@vactron.org