ГОСТ 25663-83 Оборудование вакуумное НАСОСЫ ВАКУУМНЫЕ МЕХАНИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ ИСПЫТАНИЙ ( ISO 1607-1:1993(E)
И
ГОСТ 32974.1 -2023 СТАНДАРТНЫЕ МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ ХАРАКТЕРИСТИК ВАКУУМНЫХ НАСОСОВ (ISO 21360-1: 2020(Е)).
ниже на примере приведем описание сути выполняемых работ. Последовательность проведения операций при проведении испытаний
1) Проводится откачка испытательной камеры до предельного давления. Предельное остаточное давление считается установленным, если в течении 1 ч давление на входе в насос меняется в пределах погрешности измерительного прибора. Достигнутое предельное давление должно быть не хуже 0,05*Pт, где Pт – давление, на котором предполагается измерить быстроту откачки.
2) Измерения начинают с самого низкого давления, проводя не менее трех измерений в каждом десятичном диапазоне (приблизительно для значений 2,5; 5; 10).
3) Не прекращая откачки, с помощью ротаметра и/или выбранной тестовой диафрагмы, сохраняя безопасный режим откачки, проводятся измерения давления Pт в испытательной камере. Давление Pт считается установленным, если результаты трех последовательных измерений, проведенных с интервалом не менее 60 сек., не отличаются более чем на 10%.
4) В протоколе испытаний фиксируется установленное значение Pт, одновременно с занесением в протокол значений Pa, Ta, Tт, и состояний приборов и приспособления для имитации газовой нагрузки и параметры насоса (управляющая частота или обороты вращения).
5) Пример таблицы для ведения протокола испытания и таблицы пересчета с указанием используемых формул приведены ниже, см. табл 1.
Табл 1. Пример протокола испытаний.
6) После фиксации измерений проводится расчет проводимости диафрагм, зная номинальный диаметр диафрагмы ( с пересчетом из массового расхода Wa1, Wa2, Wa3 (кг/час) в объемный La1, La2, La3 м3/час), и пересчет показаний ротаметра La4 в условиях испытаний температуры и давления атмосферного воздуха. Вычисленные значение приведены ниже в табл.2.
Табл.2 Вычисленные значения проводимости приборов и приспособлений имитации газовой нагрузки.
7) После проведения расчета в табл.1, вычисляется суммарная проводимость использованных приборов и приспособлений для имитации газовой нагрузки Lсумм (м3/час) = La1+La2+La3+La4 и суммарный поток воздуха Q ( кПа * м3/час) =Pa* Lсумм на входе в испытательную камеру.
8) Руководствуясь основным уравнением вакуумной техники вычисляем быстроту откачки насосного агрегата S ( м3/час) = Q/Pт на давлении измерения Pт (кПа). Вычисленные значение приведены ниже в табл.3.
Табл.3 Вычисленные значения быстроты откачки вакуумного насоса S при давлении измерения Pт.
*- значения в первой строчкеQ и S не являются расчетными, указаны условные минимальные значения отличные от нуля.
9) По вычисленным значениям S и измеренным значениям Pт строится кривая откачки вакуумного насоса в диапазоне давлений, полученных при испытании. На иллюстрации 2 ниже представлена построенная кривая откачки испытуемого в данном примере насосного агрегата.
По данным кривой откачки можно определить, что средняя быстрота откачки испытуемого насосного агрегата в диапазоне измерений составляет 877 м3/час ( от 1200 до 780 м3/час).
На иллюстрации 3 ниже представлена шильда испытанного вакуумного насоса Рутса в составе откачного агрегата. Как можно прочитать с шильды проектная быстрота откачки насоса Рутса модель MB850 составляет 980 м3/час.
Вывод: Испытания подтвердили заявленную производителем быстроту откачки, насоса Рутса. Таким образом, комбинация из выбранных для насосного агрегата модели винтового вакуумного насоса и модели насоса Рутса подобраны правильным образом для заданного диапазона давлений.
Дополнительно:
1) Более строгая методика проведения испытаний требует проведения предварительного контроля герметичности, с целью определения что негерметичность системы составляет величину не хуже. Предварительный контроль герметичности с помощью масс-спектрометрического течеискателя выполняется Исполнителем на регулярной основе в обязательном порядке. Описание процесса контроля герметичности и формы протокола о проверке герметичности не приведено в рамках данного примера в целях экономии времени.
2) В зависимости от алгоритмической модели управления насосным агрегатом, управляющая частота насоса Рутса может отличаться от номинальной 60Гц. В случае если испытания будут проводиться с отличными от номинальной частоты вращения насоса, рассчитываемая быстрота откачки